Способ изготовления микромеханического компонента - RU2011125301A

Реферат

1. Способ (1) изготовления микромеханического компонента (31, 41, 51), который включает следующие этапы:а) формирование (3), по меньшей мере, двух пластин (11, 13), каждая из которых включает рамку (15, 17), соединенную, по меньшей мере, одной перемычкой (12, 14) материала с деталью (19, 21) указанного компонента;отличающийся тем, что он также включает следующие этапы:б) установки (5) указанных, по меньшей мере, двух пластин на опору (23) таким образом, что указанные, по меньшей мере, две пластины располагаются одна поверх другой;в) закрепления (7) штифта (29) в отверстии (16, 18) указанных, по меньшей мере, двух установленных деталей для формирования компонента (31, 41, 51) таким образом, что одиночный штырь выступает, по меньшей мере, из одной из установленных пластин и может использоваться в качестве захватывающего средства;г) отделения (9) указанного сформированного компонента (31, 41, 51) от указанных, по меньшей мере, двух пластин (11, 13).2. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что этап б) включает следующие этапы для каждой пластины (11, 13):д) направление (B) указанной пластины при помощи установочных средств (25) для точной ориентации указанной пластины относительно опоры (23);е) скольжение (A) указанной пластины, по меньшей мере, по одной оси (22), закрепленной на опоре (23) до упора в заплечик (24) указанно оси для точной установки указанной пластины относительно опоры (23).3. Способ (1) по п.2, отличающийся тем, что каждое из указанных установочных средств включает, по меньшей мере, одно коническое кольцо, которое установлено на продолжении указанной, по меньшей мере, одной оси опоры (23) и которое взаимодействует с углублением (20, 26), выполненном в каждой из указанных, по меньшей м