Повторное использование крупноразмерной подложки фотошаблона - RU2007146764A

Реферат

1. Способ повторного использования крупноразмерной подложки фотошаблона, содержащий этапы, на которых ! (i) удаляют трафаретную экранирующую свет пленку с использованной крупноразмерной подложки фотошаблона для предоставления заготовки крупноразмерной формирующей фотошаблон стеклянной подложки, которая должна восстанавливаться, ! (ii) повторно очищают поверхность заготовки стеклянной подложки с использованием технологического инструмента пескоструйной очистки, ! (iii) повторно полируют подвергнутую повторной очистке поверхности заготовку стеклянной подложки для получения восстановленной заготовки стеклянной подложки, ! (iv) накладывают экранирующую свет пленку на восстановленную заготовку стеклянной подложки, для получения восстановленной крупноразмерной формирующей фотошаблон необработанной подложки, и ! (v) обрабатывают экранирующую свет пленку необработанной подложки в трафарет, соответствующий требуемому экспонированию маточного стекла, для получения восстановленной подложки фотошаблона. ! 2. Способ по п.1, в котором заготовка стеклянной подложки, полученная после этапа (i), имеет длину диагонали, по меньшей мере, в 500 мм и толщину по меньшей мере в 3 мм. ! 3. Способ по п.2, в котором ! восстановленная подложка фотошаблона должна использоваться в технологическом процессе экспонирования маточного стекла, включающего в себя присоединение восстановленной подложки фотошаблона, имеющей противоположные стороны, к устройству экспонирования через крепление противоположных боковых кромок, размещение прилегающего к восстановленной подложке фотошаблона маточного стекла, служащего в качестве подложки сторо