Виброизолирующий модуль и система обработки подложек - RU2014113908A

Реферат

1. Модуль (101) для изолирования устройства для обработки подложек, такого как литографическое устройство или устройство контроля, от вибраций, при этом модуль содержит:- опорную раму (102);- промежуточный элемент (103), соединенный с опорной рамой посредством, по меньшей мере, одного пружинного элемента (105) так, что промежуточный элемент представляет собой подвесной элемент; и- опорный элемент (104), который при использовании указанного модуля (101) несет колонну указанного устройства для обработки подложек, при этом опорный элемент (104) соединен с промежуточным элементом (103) посредством, по меньшей мере, одного маятникового стержня (108) так, что опорный элемент представляет собой подвесной элемент; и- при этом данный, по меньшей мере, один маятниковый стержень выполнен с точкой изгиба.2. Модуль по п. 1, в котором данный, по меньшей мере, один маятниковый стержень выполнен с двумя точками изгиба, при этом стержень присоединен к промежуточному элементу в месте, находящемся выше верхней точки изгиба, и присоединен к опорному элементу в месте, находящемся ниже нижней точки изгиба.3. Модуль по п. 1 или 2, в котором место, в котором данный, по меньшей мере, один пружинный элемент присоединен к промежуточному элементу, является регулируемым.4. Модуль по пп. 1, 2, в котором место присоединения данного, по меньшей мере, одного пружинного элемента смещено относительно проекции главной оси упомянутого, по меньшей мере, одного маятникового стержня.5. Модуль по п. 1, при этом модуль включает в себя, по меньшей мере, два маятниковых стержня, и при этом места, в которых маятниковые стержни присоединены к промежуточному элементу, являются регулируемыми.