Литографическая система и способ обработки подложек в такой литографической системе - RU2013132215A

Реферат

1. Литографическая система (300), содержащая множество узлов литографической системы, каждый узел литографической системы содержит:- вакуумную камеру;- устройство (301) литографии, расположенное в вакуумной камере, для нанесения картины на подложку;- систему (310) блокировки нагрузки для переноса подложек в и из вакуумной камеры и- дверцу (330) для обеспечения входа в вакуумную камеру для целей обслуживания;в которой система блокировки нагрузки и дверца каждого узла литографической системы обеспечены на одной стороне узла литографической системы и направлены к свободному пространству на стороне литографической системы.2. Система по п.1, в которой узлы литографической системы расположены один за другим в два ряда.3. Система по любому из предыдущих пунктов, в которой дверца с возможностью удаления соединена с вакуумной камерой.4. Система по п.3, в которой дверца обеспечена одним или более элементами (345) переноса.5. Система по п.1 или 2, в которой система блокировки нагрузки интегрирована в дверцу.6. Система по п.1 или 2, в которой узел литографической системы содержит узел (410) хранения для временного хранения подложек.7. Система по п.1 или 2, дополнительно содержащая систему (320) приготовления для приготовления подложек к нанесению картины в устройстве (301) литографии.8. Система по п.1, в которой каждый узел литографической системы содержит систему приготовления.9. Система по п.8, в которой узел литографической системы содержит робота (401, 501) для переноса подложек между системой приготовления и системой блокировки нагрузки.10. Система по любому из п.п.7-9, в которой система приготовления содержит зажимной узел (360) для зажима подложки (405) н