Литографическая система и способ хранения позиционных данных мишени - RU2014104561A

Реферат

1. Литографическая система для записи шаблона на мишень с использованием одного или более экспозиционных пучков, причем упомянутая система содержит:систему управления посредством обратной связи, содержащую привод для перемещения мишени в литографической системе, измерительную систему для, по существу, непрерывного измерения положения мишени в литографической системе, и блок управления, выполненный с возможностью управления приводом на основании положения, измеренной измерительной системой, причем упомянутая система управления посредством обратной связи имеет первую задержку, заданную как максимальная задержка между упомянутым измерением и упомянутым управлением приводом на основании упомянутого измерения,систему хранения для хранения измеренных положений, причем упомянутая система хранения содержит приемный буфер и блок хранения, причем упомянутая система хранения имеет вторую задержку, заданную как средняя задержка между приемом измеренных положений в приемном буфере и сохранением упомянутых измеренных положений в блоке хранения,причем первая задержка по меньшей мере на порядок величины меньше второй задержки,причем система управления посредством обратной связи содержит однонаправленное соединение для передачи упомянутых измеренных положений в систему хранения, и при этом система управления посредством обратной связи выполнена с возможностью, по существу, непрерывной работы независимо от упомянутой системы хранения.2. Литографическая система по п. 1, в которой из системы хранения в систему управления посредством обратной связи не отправляется никаких данных и сигналов.3. Литографичес�