Измерительное устройство, экспонирующее устройство и способ изготовления устройства - RU2008125819A

Реферат

1. Измерительное устройство для измерения оптических характеристик объекта измерения, при этом измерительное устройство содержит: ! контроллер поляризации, который регулирует поляризацию света, который падает на объект измерения; ! блок деления волнового фронта, который делит волновой фронт света, исходящего из контроллера поляризации; ! поляризующий блок, который поляризует свет, проходящий через объект измерения; ! детектор, который регистрирует свет, прошедший через, по меньшей мере, один из упомянутого блока деления волнового фронта и упомянутого поляризующего блока; ! процессор, который вычисляет оптические характеристики объекта измерения по результату регистрации упомянутым детектором; и ! первый приводной блок, который перемещает упомянутый блок деления волнового фронта относительно упомянутого детектора для установки упомянутого блока деления волнового фронта в оптический путь или вне оптического пути, проходящего от объекта измерения до упомянутого детектора, ! причем упомянутый процессор вычисляет оптические характеристики объекта измерения с использованием результата регистрации, полученного, когда упомянутый блок деления волнового фронта установлен в оптический путь, и результата регистрации, полученного, когда упомянутый блок деления волнового фронта установлен вне оптического пути. ! 2. Устройство по п.1, дополнительно содержащее ! второй приводной блок, который перемещает упомянутый поляризующий блок относительно упомянутого детектора для установки упомянутого поляризующего блока в оптический путь или вне оптического пути, и ! блок управления, который управляет упомянутым первым