Система контроля технологического процесса для лазеров, используемых в литографии - RU2002124596A

Реферат

1. Система контроля лазеров для литографии на по меньшей мере одном предприятии по производству интегральных микросхем, содержащая

а) множество лазеров, каждый из которых сконфигурирован для использования в качестве источника освещения в процессе создания интегральных микросхем способом литографии;

б) сервер терминала, соединенный с каждым из указанного множества лазеров;

в) центральное серверное устройство производственного предприятия, обеспечивающее связь с каждым из указанного множества лазеров через локальную сеть; причем указанное центральное серверное устройство производственного предприятия запрограммировано таким образом, что осуществляет сбор данных из каждого из указанных лазеров и запоминание по меньшей мере части данных в исходном виде и/или в виде сводки;

г) второе серверное устройство, обеспечивающее посредством сети связи связь между указанным первым серверным устройством и компьютерами, используемыми пользователями с правом доступа к информации, запомненной посредством указанного первого серверного устройства.

2. Система по п.1, в которой указанным множеством лазеров являются узкополосные эксимерные лазеры.

3. Система по п.1, в которой каждый сервер терминала имеет уникальный адрес в сети Интернет.

4. Система по п.1, в которой указанный второй сервер расположен на предприятии-изготовителе лазеров.

5. Система по п.1, в которой указанное центральное серверное устройство производственного предприятия запрограммировано посредством программного обеспечения, созданного в модульном виде, а указанное программное обеспечение содержит в себе

(а) модуль сбора данных;

(б) модуль синтаксического анализатора;

(в) модуль базы данных;

(г) модуль интерфейса пользователя.

6. Система по п.5, в которой указанный модуль сбора данных содержит в себе следующие программные компоненты:

(а) считывание из лазера и запись в него;

(б) ввод команд в лазеры;

(в) очередь вводимых команд;

(г) считывание данных из лазеров;

(д) главный планировщик;

(е) интерфейс синтаксического анализатора;

(ж) очередь на выполнение записи в базу данных;

(з) файлы регистрации системных ошибок и фоновая программа (демон) определения ошибок.

7. Система по п.1, в которой данные, собранные из указанных лазеров, представлены на Web-узле, созданном посредством указанного центрального серверного устройства производственного предприятия.

8. Система по п.7, в которой указанные данные, собранные из указанных лазеров, представлены в виде сводных диаграмм.

9. Система по п.7, в которой указанный Web-узел содержит в себе Web-страницы.

10. Система по п.9, в которой указанные Web-страницы содержат в себе

(а) административную страницу;

(б) страницы сводок о конкретных лазерах;

(в) страницы журнала регистрации технического обслуживания;

(г) страницы ошибок.

11. Система по п.8, в которой указанные диаграммы содержат в себе

(а) диаграммы срока службы рабочей камеры;

(б) диаграммы для программы управления локальной сетью (LNM);

(в) диаграммы для модуля стабилизации;

(г) диаграммы для времени безотказной работы или времени простоя;

(д) диаграммы, относящиеся к эксплуатационному обслуживанию.

12. Система по п.1, в которой указанной сетью связи является сеть Интернет.

13. Система по п.1, в которой указанной сетью связи является система корпоративной локальной сети (интранет).

14. Система по п.1, в которой указанный сервер терминала выполнен в виде встроенной сетевой платы.