Сетевая архитектура и протокол для кластера литографических машин - RU2013151876A

Реферат

1. Кластерная система обработки подложки, содержащая один или более литографических элементов (10), причем каждый литографический элемент содержит:множество подсистем (16) литографии;управляющую сеть (120), образующую путь управляющей сети между подсистемами литографии и по меньшей мере одним блоком (12) управления элементом для передачи управляющей информации; исеть (140) данных, образующую путь сети данных между подсистемами литографии и по меньшей мере одним концентратором (14) сети данных для передачи информации данных из подсистем литографии по меньшей мере в один концентратор (14) сети данных;причем путь управляющей сети и путь сети данных образуют отдельные и независимые пути передачи данных.2. Система по п.1, дополнительно содержащая средство (6) внешней связи кластера для взаимодействия с консолью оператора или главной системой (2, 4), причем средство внешней связи системы выполнено с возможностью:выдачи управляющей информации по меньшей мере одному блоку управления элементом для управления работой одной или более подсистем литографии для экспонирования одной или более полупроводниковых пластин;выдачи программы процесса блоку управления элементом, причем программа процесса содержит набор заданных команд и ассоциированных параметров, причем каждая команда соответствует заданному действию или последовательности действий, подлежащих выполнению одной или более из подсистем литографии, и параметры дополнительно определяют, как следует выполнить действие или последовательность действий,приема по меньшей мере части информации данных, принятых посредством концентратора сети данных.3. Система по п.1 или 2, в к