Устройство для изготовления периодических структур методом лазерной интерференционной литографии с использованием лазера с перестраиваемой длиной волны - RU2015148270A

Устройство для изготовления периодических микроструктур методом лазерной интерференционной литографии, отличающееся тем, что в качестве источника света используется лазер с перестраиваемой длиной волны, что позволяет изменять период изготавливаемой структуры без дополнительной настройки, а также тем, что можно не использовать линзу для фокусировки светового излучения, что позволяет использовать большие рабочие мощности и уменьшить время изготовления микроструктур.