Композиция, используемая в изготовлении интегральных схем, оптических устройств, микромашин и механических прецизионных устройств - RU2015104902A

Реферат

1. Водная композиция для проявления фоторезистов, нанесенных на полупроводниковые подложки, содержащая четвертичное аммониевое соединение формулы I(I),в которой(a) Rвыбирают из С-Сорганического радикала формулы -X-CRRR, где R, Rи Rнезависимо выбирают из С-Салкила и два или три из R, Rи Rмогут вместе образовывать циклическую систему, иR, Rи Rнезависимо выбирают из Rили C-Cалкила, C-Cгидроксиалкила, С-Саминоалкила или C-Салкоксиалкила и X представляет собой химическую связь или С-Сдвухвалентный органический радикал, или(b) Rи Rнезависимо выбирают из органического радикала формулы IIa или IIbилигде Yпредставляет собой С-Салкандиил, Yпредставляет собой одно-, двух- или трициклическую С-Скарбоциклическую или гетероциклическую ароматическую систему, и Rи Rвыбирают из Rили C-Салкила, C-Cгидроксиалкила, С-Саминоалкила или С-Салкоксиалкила, и X представляет собой химическую связь или C-Сдвухвалентный органический радикал, или(c) по меньшей мере, два из R, R, Rи Rвместе образуют насыщенную моно-, ди- или трициклическую С-Сорганическую циклическую систему, а остальные Rи R, если таковые имеются, вместе образуют моноциклическую С-Сорганическую циклическую систему или их выбирают из C-Салкила, C-Cгидроксиалкила, C-Cаминоалкила или C-Cалкоксиалкила и X представляет собой химическую связь или C-Cдвухвалентный органический радикал, или(d) их комбинацию, игде Ζ является противоионом и z представляет собой целое число, которое выбирают таким образом, чтобы все объемное четвертичное аммониевое соединение было электрически незаряженным.2. Водная композиция по п. 1, в которой R, Rи Rиз Rнезависимо выбирают из C-Cалкила и R, Rи Rнезависимо выбирают из С-Салкила.3. Водная композиция по п. 1, в которойR, Rнезависимо выбирают из циклогексила,