Применение поверхностно-активных веществ, содержащих по меньшей мере три короткоцепочечные перфторированные группы, для производства микросхем, имеющих рисунки с расстояниями между линиями менее 50 нм - RU2013139216A

Реферат

1. Применение поверхностно-активных веществ A, 1 мас.% водные растворы которых имеют статическое поверхностное натяжение <25 мН/м, где указанные поверхностно-активные вещества A содержат по меньшей мере три короткоцепочечные перфторированные группы Rf, выбранные из группы, состоящей из трифторметила, пентафторэтила, 1-гептафторпропила, 2-гептафторпропила и пентафторсульфанила, для производства микросхем, имеющих рисунки с расстояниями между линиями менее 50 нм и со значениями аспектного отношения >3.2. Применение по п.1, отличающееся тем, что перфторированные группы Rf связаны с одним и тем же мультивалентным центральным фрагментом B.3. Применение по п.2, отличающееся тем, что перфторированные группы Rf в поверхностно-активном веществе A связаны с мультивалентным центральным фрагментом B через линкер X, выбранный из группы, состоящей из ковалентных связей, атомов кремния, атомов азота, атомов фосфора, атомов кислорода, атомов серы и двухвалентных органических линкерных групп L; где Rf, B и X составляют гидрофобную группу D общей формулы I:,где коэффициент n представляет собой целое число, равное по меньшей мере 3.4. Применение по п.2, отличающееся тем, что поверхностно-активное вещество A содержит по меньшей мере одну гидрофобную группу D.5. Применение по п.3, отличающееся тем, что по меньшей мере одна гидрофобная группа D связана с по меньшей мере одной гидрофильной группой E, выбранной из группы, состоящей из анионных групп, катионных групп и неионных групп, через линкер Y, выбранный из группы, состоящей из ковалентных связей, атомов кремния, атомов азота, атомов фосфора, атомов кислорода, атомов серы или двухвалентных органических л�