Способ изготовления металлической микроструктуры и микроструктура, полученная указанным способом - RU2012100707A

Реферат

1. Способ изготовления множества металлических микроструктур, характеризующийся тем, что включает следующие этапы, на которых:a) берут проводящую подложку или электроизоляционную подложку, покрытую проводящим затравочным слоем;b) наносят слой фоточувствительной смолы на проводящую поверхность подложки;c) сглаживают поверхность слоя фоточувствительной смолы до получения требуемой толщины и/или требуемого состояния поверхности;d) облучают слой смолы через маску, определяющую контур требуемой микроструктуры;e) растворяют незаполимеризовавшиеся участки слоя фоточувствительной смолы, чтобы обнажить участки проводящей поверхности подложки;f) проводят гальваническое осаждение по меньшей мере одного слоя металла на указанных участках проводящей поверхности для формирования блока, который достигает верхней поверхности фоточувствительной смолы;g) сглаживают смолу и электроформованный металл до одного уровня для формирования электроформованных деталей или микроструктур;h) отделяют слой смолы и электроформованные детали или микроструктуры от подложки;j, n, q) прикрепляют электроформованные детали или микроструктуры базовой торцевой поверхностью к рабочей пластине;k, о, r) подвергают механической обработке наружные поверхности до получения деталей или микроструктур требуемой толщины и/или с требуемым состоянием поверхности;l, р, s) высвобождают сформированные детали или микроструктуры.2. Способ по п.1, характеризующийся тем, что этап с) выравнивания выполняют с использованием режущего инструмента.3. Способ по п.2, характеризующийся тем, что режущий инструмент является инструментом, участок режущей кромки котор�