Гибкий нано-впечатывающий штамп - RU2007112511A

Реферат

1. Нано-впечатывающий штамп, содержащий основную деталь и первую и вторую впечатывающие части, причем первая и вторая впечатывающие части могут независимо смещаться в направлении, практически параллельном направлению впечатывания впечатывающего штампа, отличающийся тем, что эффективная жесткость при изгибе первой и второй впечатывающих частей значительно превышает эффективную жесткость при изгибе основной детали в направлении, практически параллельном направлению впечатывания впечатывающего штампа.

2. Нано-впечатывающий штамп, содержащий первую и вторую впечатывающие части, объединенные с основной деталью, причем первая и вторая впечатывающие части механически слабо связаны в направлении, практически параллельном направлению впечатывания впечатывающего штампа, отличающийся тем, что эффективная жесткость при изгибе первой и второй впечатывающих частей значительно превышает эффективную жесткость при изгибе основной детали в направлении, практически параллельном направлению впечатывания впечатывающего штампа.

3. Нано-впечатывающий штамп по п.1 или 2, отличающийся тем, что отношение (r_s) между эффективной жесткостью при изгибе первой и (или) второй впечатывающих частей и эффективной жесткостью при изгибе основной детали в направлении, практически параллельном направлению впечатывания впечатывающего штампа, имеет минимальное значение, выбранное из группы, состоящей из 10, 20, 30,40, 50, 60, 70, 80, 90 или 100.

4. Нано-впечатывающий штамп по п.1 или 2, отличающийся тем, что первая и вторая впечатывающие части могут независимо смещаться в направлении, практически параллельном направлению впечатывания впечатывающего штампа, с эластичными смещениями первой и (или) второй впечатывающих частей.

5. Нано-впечатывающий штамп по п.1 или 2, отличающийся тем, что первая и вторая впечатывающие части нано-впечатывающего штампа могут независимо смещаться в направлении, практически параллельном направлению впечатывания впечатывающего штампа, со смещениями, меньшими средней высоты впечатываемого литографического рисунка.

6. Нано-впечатывающий штамп по п.1 или 2, отличающийся тем, что первая и вторая впечатывающие части нано-впечатывающего штампа могут независимо смещаться в направлении, практически параллельном направлению впечатывания впечатывающего штампа, со смещениями, практически равными средней высоте впечатываемого литографического рисунка или превышающими ее.

7. Нано-впечатывающий штамп по п.1 или 2, отличающийся тем, что первая и вторая впечатывающие части нано-впечатывающего штампа могут независимо смещаться в направлении, практически параллельном направлению впечатывания впечатывающего штампа, со смещениями, практически равными или меньшими изменению толщины запечатываемой подложки.

8. Нано-впечатывающий штамп по п.1 или 2, отличающийся тем, что первая и вторая впечатывающие части нано-впечатывающего штампа могут независимо смещаться в направлении, практически параллельном направлению впечатывания впечатывающего штампа, со смещениями первой и (или) второй впечатывающих частей в пределах от 1 нм до 10 мкм, предпочтительно, 5-500 нм, предпочтительнее, 10-100 нм.

9. Нано-впечатывающий штамп по п.1 или 2, отличающийся тем, что изгиб нано-впечатывающего штампа при впечатывании локализуется, главным образом, в основной детали.

10. Нано-впечатывающий штамп по п.1 или 2, отличающийся тем, что первая и вторая впечатывающие части нано-впечатывающего штампа практически фиксируются относительно друг друга в направлении, практически перпендикулярном направлению впечатывания впечатывающего штампа.

11. Нано-впечатывающий штамп по п.1 или 2, отличающийся тем, что основная деталь представляет собой мембрану, соединяющую первую и вторую впечатывающие части.

12. Нано-впечатывающий штамп по п.11, отличающийся тем, что по меньшей мере одна - первая или вторая - из впечатывающих частей имеет толщину (Т), превышающую толщину (t) мембраны в направлении, практически параллельном направлению впечатывания впечатывающего штампа.

13. Нано-впечатывающий штамп по п.12, отличающийся тем, что отношение (r_t) между толщиной (Т) по меньшей мере одной впечатывающей части и толщиной мембраны (t) имеет минимальное значение, выбранное из группы, состоящей из 1,5; 2; 2,5; 3; 3,5; 4; 4,5; 5; 5,5; 6; 6,5; 7; 8; 9 или 10.

14. Нано-впечатывающий штамп по п.11, отличающийся тем, что первая и вторая впечатывающие части содержат первую часть с литографическим рисунком.

15. Нано-впечатывающий штамп по п.14, отличающийся тем, что литографический рисунок размещен на мезаструктуре.

16. Нано-впечатывающий штамп по п.11, отличающийся тем, что первая и вторая впечатывающие части содержат вторую часть, образующую часть мембраны.

17. Нано-впечатывающий штамп по п.16, отличающийся тем, что вторая часть изготовлена в виде объединенной части мембраны.

18. Нано-впечатывающий штамп по п.11, отличающийся тем, что первая и вторая впечатывающие части содержат третью часть.

19. Нано-впечатывающий штамп по п.18, отличающийся тем, что третья часть выступает из мембраны в направлении, противоположном направлению впечатывания.

20. Нано-впечатывающий штамп по п.18, отличающийся тем, что, по крайней мере, третья часть заключена в эластичной задней матрице.

21. Нано-впечатывающий штамп по п.20, отличающийся тем, что эластичная задняя матрица представляет собой эластомерный полимер.

22. Нано-впечатывающий штамп по п.20, отличающийся тем, что эластичная задняя матрица представляет собой замкнутую текучую среду.

23. Нано-впечатывающий штамп по п.1 или 2, содержащий датчики, которые могут обнаруживать смещение по меньшей мере одной - первой или второй - из впечатывающих частей в направлении, практически параллельном направлению впечатывания впечатывающего штампа.

24. Нано-впечатывающий штамп по п.1 или 2, изготовленный способом микроэлектронной технологии.

25. Нано-впечатывающий штамп по п.1 или 2, изготовленный, главным образом, из материала, имеющего модуль Юнга не менее 1 ГПа, предпочтительно, не менее 10 ГПа или, предпочтительнее, не менее 100 ГПа.

26. Нано-впечатывающий штамп по п.24, отличающийся тем, что впечатывающий штамп содержит полупроводниковый материал.

27. Способ впечатывания литографического рисунка в воспринимающую подложку с использованием нано-впечатывающего штампа по п.1 или 2.

28. Способ впечатывания литографического рисунка в воспринимающую подложку по п.27, отличающийся тем, что давление при впечатывании имеет приблизительное минимальное значение, выбранное из группы, состоящей из 10, 50, 100, 250 или 300 кПа.

29. Способ по п.27, отличающийся тем, что впечатывающий штамп прижимают к воспринимающей подложке устройством с параллельным расположением пластин.

30. Способ по п.27, отличающийся тем, что впечатывающий штамп прижимают к воспринимающей подложке устройством с воздушной подушкой.

31. Способ по п.27, отличающийся тем, что воспринимающую подложку выполняют с изогнутой вовнутрь или наружу кривизной.