Способ изготовления штампа с рисунком, штамп с рисунком и способ отпечатывания - RU2017126139A
Код документа: RU2017126139A
Формула
1. Печатающий штамп (100) для импринт-литографии, содержащий слой гибкого штампа, имеющий профилированную поверхность (120), несущую на себе рельефный рисунок (122), который вскрывают для нанесения рисунка на профилированную поверхность подложки, и опорный слой, прикрепленный к слою гибкого штампа и содержащий множество пор, заполненных материалом наполнителя.
2. Импринт-штамп по п. 1, в котором материал наполнителя представляет собой материал, отличный от материала слоя гибкого штампа.
3. Импринт-штамп по п. 1 или 2, в котором материал наполнителя представляет собой тот же материал, что и материал слоя гибкого штампа.
4. Импринт-штамп по любому из пп. 1-3, в котором, по меньшей мере, один из слоя гибкого штампа и опорного слоя содержит или состоит из полимера на основе силоксана.
5. Импринт-штамп (100) по любому из пп. 1-4, в котором слой (120) гибкого штампа обладает первым модулем Юнга, а опорный слой (140) обладает вторым модулем Юнга, причем первый модуль Юнга больше, чем второй модуль Юнга.
6. Импринт-штамп по любому из пп. 1-5, в котором материал опорного слоя и материал наполнителя обладают таким показателем преломления, чтобы опорный слой был, по меньшей мере, частично прозрачным для оптического излучения.
7. Способ изготовления импринт-штампа (100), имеющего профилированную поверхность, несущую на себе рельефный рисунок, причем упомянутый способ содержит
нанесение слоя (115) гибкого материала-прекурсора поверх эталонного шаблона (50) рельефного рисунка, несущего на себе обратный рельефный рисунок (52), для образования рельефного рисунка (122) в упомянутом слое;
отверждение гибкого материала-прекурсора для образования слоя (120) гибкого штампа, содержащего рельефный рисунок;
обеспечение промежуточной структуры штампа путем прикрепления пористого гибкого и/или сжимаемого опорного слоя (130) к слою гибкого штампа;
отделение промежуточной структуры штампа от эталонного шаблона рельефного рисунка;
вдавливание промежуточной структуры штампа в профилированную поверхность подложки рельефным рисунком, обращенным к профилированной поверхности;
формирование импринт-штампа путем заполнения, по меньшей мере, части пор пористого гибкого опорного слоя материалом наполнителя для снижения гибкости опорного слоя; и
удаление штампа с рисунком с профилированной поверхности подложки.
8. способ по п. 7, дополнительно содержащий отверждение материала наполнителя.
9. способ по п. 7 или 8, дополнительно содержащий формирование пористого гибкого опорного слоя (130)путем
смешивания гибкого материала с жертвенным материалом для образования исходного слоя;
отверждения упомянутого исходного слоя; и
удаления жертвенного материала с исходного слоя для образования пористого гибкого опорного слоя.
10. способ по п. 9, в котором жертвенный материал содержит или состоит из матрицы из сахарозы, и в котором этап удаления содержит растворение упомянутой матрицы из сахарозы.
11. способ по любому из пп. 7-10, в котором этап вдавливания промежуточной структуры штампа в обратную профилированную поверхность (10) подложки содержит:
помещение промежуточной структуры штампа на обратную профилированную поверхность в вакуумной камере; и
снижение давления в упомянутой вакуумной камере для вдавливания слоя гибкого штампа в обратную профилированную поверхность.
12. способ по любому из пп. 7-11, в котором слой (120) гибкого штампа и пористый гибкий опорный слой (140) содержат или состоят из каучукообразного материала.
13. способ по п. 12, в котором каучукообразный материал содержит или состоит из полимера на основе силоксана.
14. способ по любому из пп. 7-13, дополнительно содержащий закрепление импринт-штампа (100) на жестком носителе (160).
15. Использование импринт-штампа по любому из пп. 1-6 для процесса печатания, где процесс печатания предпочтительно является процессом микроконтактного печатания или процессом отпечатывания.
16. Способ отпечатывания, содержащий этапы
обеспечения слоя (14) прекурсора рисунка поверх профилированной поверхности (10) подложки;
приложение печатающего штампа (100) по любому из пп. 1-6 к слою (14) прекурсора рисунка таким образом, чтобы профилированная поверхность отпечатыващего штампа, по меньшей мере, частично была подогнана к профилированной поверхности, и на слое прекурсора рисунка отпечатался рельефный рисунок;
отверждения слоя прекурсора рисунка с образованием отвержденного слоя (16, 18) рисунка при приложении отпечатывающего штампа к профилированной поверхности подложки;
удаления отпечатывающего штампа с отвержденного слоя рисунка.
