Способ переноса, а также устройство и компьютерный программный продукт для его осуществления - RU2017113699A
Код документа: RU2017113699A
Формула
1. Способ механического контактирования гибкого штампа с подложкой, причем способ содержит этапы, на которых:
(а) формируют в гибком штампе по меньшей мере частичную выпуклость штампа с участком выпуклости штампа;
(b) позиционируют гибкий штамп относительно указанной подложки, причем участок выпуклости штампа является либо частичным участком выпуклости штампа с первым ненулевым расстоянием до подложки без контакта с ней и находящимся ближе к подложке, чем участок гибкого штампа вне частичного участка выпуклости штампа, либо полным участком выпуклости штампа, находящимся в контакте с подложкой;
(с) измеряют поперечное совмещение между участком выпуклости штампа и подложкой, используя характерный элемент гибкого штампа, находящийся на участке выпуклости штампа, и характерный элемент подложки, находящийся на подложке;
(d) определяют необходимость настройки поперечного совмещения при фиксации на месте участка выпуклости штампа;
(e) при необходимости настройки поперечного совмещения выполняют поперечную настройку путем поперечного перемещения по меньшей мере участка выпуклости штампа относительно подложки, либо удерживая на месте частичный участок выпуклости штампа, либо после стягивания полного участка выпуклости штампа до частичного участка выпуклости штампа; и
(f) при отсутствии необходимости настройки поперечного совмещения или после выполнения поперечной настройки на этапе (e), если имеется частичный участок выпуклости штампа на месте, то продвигают участок выпуклости штампа в направлении подложки для формирования полного участка выпуклости штампа в контакте с подложкой.
2. Способ по п. 1, в котором:
этап (b) содержит формирование частичного участка выпуклости штампа на первом ненулевом расстоянии, причем расстояние между участком гибкого штампа вне участка выпуклости штампа и подложкой определяет величину зазора; и
высота частичного участка выпуклости штампа составляет по меньшей мере 20% величины зазора и/или по меньшей мере 10 микрометров.
3. Способ по п. 1 или 2, в котором этапы от (с) до (e) выполняют один или несколько раз, причем каждый раз частичный участок выпуклости штампа находится на месте, и после выполнения этапа (f) частичный участок выпуклости штампа стал полным участком выпуклости штампа, в результате чего по меньшей мере полный участок выпуклости штампа находится в механическом контакте с подложкой.
4. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором продвижение выпуклости штампа на этапе (f) содержит рост частичного участка выпуклости штампа, и/или, если этап (e) содержит отведение полного участка выпуклости штампа от подложки, то отведение полного участка выпуклости штампа содержит укорочение полного участка выпуклости штампа.
5. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором характерный элемент гибкого штампа, находящийся на участке выпуклости штампа, и/или характерный элемент подложки, находящийся на подложке, являются маркерами совмещения.
6. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором этап (d) содержит сравнение измеренного поперечного совмещения с предварительно заданным минимальным поперечным совмещением и определение необходимости настройки поперечного совмещения, когда измеренное поперечное совмещение хуже предварительно заданного минимального поперечного совмещения.
7. Способ по п. 3, в котором гибкий штамп содержит область штамповки, и причем способ содержит после этапа (f) этап (g) перемещения или расширения полной выпуклости гибкого штампа по гибкому штампу для инициирования расширения участка выпуклости штампа, находящегося в механическом контакте с подложкой, в область штамповки.
8. Способ по любому предшествующему пункту, в котором гибкий штамп содержит область штамповки и в котором этап (а) содержит:
перемещение по меньшей мере частичной выпуклости штампа по гибкому штампу для инициирования того, чтобы по меньшей мере вся область штамповки стала по меньшей мере частичной выпуклостью штампа перед выполнением этапа (с).
9. Способ по п. 8, в котором перемещение по меньшей мере частичной выпуклости штампа по гибкому штампу на этапе (a) содержит:
то, что по меньшей мере частичная выпуклость штампа является полной частичной выпуклостью штампа, участок выпуклости штампа которой находится в механическом контакте с фиктивной подложкой;
после перемещения по меньшей мере частичной выпуклости штампа по гибкому штампу, отведение полной выпуклости штампа от фиктивной подложки для формирования по меньшей мере частичной выпуклости; и
перед выполнением этапа (с), замена фиктивной подложки указанной подложкой.
10. Способ впечатывания, содержащий способ контактирования по любому из предшествующих пунктов, в котором гибкий штамп содержит область штамповки, причем область штамповки содержит рельефный шаблон, подлежащий переносу на поверхность подложки, в которую выполняют впечатывание.
11. Компьютерный программный продукт, выгружаемый из коммуникационной сети, и/или хранящийся на машиночитаемом и/или исполняемом микропроцессором носителе, причем компьютерный программный продукт содержит команды компьютерного программного кода для реализации способа по любому из предшествующих пунктов.
12. Контроллер для управления устройством для выполнения способа по любому из пп. 1-10, причем контроллер содержит компьютерный программный продукт по п. 11.
13. Устройство (100) для выполнения любого из способов по пп. 1-10, причем устройство содержит:
контроллер (130) по п. 12,
держатель (110) штампа, управляемый указанным контроллером, причем держатель штампа содержит множество (в частности и предпочтительно, матрицу) захватывающих элементов, размещенных по области держателя штампа, при этом каждый захватывающий элемент (112) выполнен с возможностью индивидуально переключаться контроллером между первой конфигурацией, в которой гибкий штамп, если он поддерживается держателем штампа, подтягивают в направлении держателя штампа, и второй конфигурацией, в которой гибкий штамп выталкивают или высвобождают из носителя штампа; и
держатель (120) подложки для поддержки подложки и/или фиктивной подложки.
14. Устройство (100) по п. 13, в котором каждый захватывающий элемент содержит отверстие, при этом каждое отверстие содержит клапан 114 для переключения отверстия между каналом (150) разрежения в первой конфигурации и каналом (140) избыточного давления во второй конфигурации, причем клапан управляется указанным контроллером.
