Способ изготовления снабженного рисунком штампа, способ импринтинга снабженным рисунком штампа и полученное импринтингом изделие - RU2016105665A

1. Способ изготовления снабженного рисунком штампа (100) для формирования рисунка на профилированной поверхности (10), содержащий этапы, на которых:

обеспечивают гибкий слой (120) штампа, несущий рисунок элементов (120) рельефа;

прижимают гибкий слой штампа к профилированной поверхности, при этом рисунок элементов рельефа обращают к профилированной поверхности;

наносят текучий опорный слой (130) поверх гибкого слоя штампа на профилированной поверхности;

осуществляют затвердевание опорного слоя (140), чтобы образовать снабженный рисунком штамп; и

отводят снабженный рисунком штамп от профилированной поверхности.

2. Способ по п.1, в котором этап прижатия гибкого слоя (120) штампа к профилированной поверхности (10) содержит:

размещение профилированной поверхности вместе с гибким слоем штампа в вакуумной камере (300); и

снижение давления в вакуумной камере для прижатия гибкого слоя штампа к профилированной поверхности.

3. Способ по п.1, в котором этап затвердевания содержит прививку опорного слоя (140) к гибкому слою (120) штампа.

4. Способ по п.2, в котором этап затвердевания содержит прививку опорного слоя (140) к гибкому слою (120) штампа.

5. Способ по п.3, в котором гибкий слой (120) штампа и опорный слой (140) содержат каучукоподобный материал.

6. Способ по п.5, в котором каучукоподобный материал представляет собой материал на основе силоксана, такой как полидиметилсилоксан.

7. Способ по любому из пп.1-6, в котором упомянутые элементы (122) имеют размеры, которые больше заданных, при этом элементы усаживаются до заданных размеров во время этапа затвердевания.

8. Способ по любому из пп.1-6, также содержащий нанесение мягкого слоя, такого как жидкий слой, на профилированную поверхность (10), при этом этап прижатия гибкого слоя (120) штампа к профилированной поверхности (10) содержит вдавливание элементов (122) в мягкий слой.

9. Способ по любому из пп.1-6, в котором гибкий слой (120) штампа содержит искаженный рисунок элементов (122), и в котором этап прижатия снабженного рисунком гибкого слоя штампа к профилированной поверхности (10) содержит деформирование искаженного рисунка до заданного рисунка.

10. Способ по любому из пп.1-6, также содержащий закрепление снабженного рисунком штампа (100) на жестком держателе (160).

11. Снабженный рисунком штамп (100), предназначенный для использования в процессе импринт-литографии, при этом снабженный рисунком штамп содержит каучуковое основание, содержащее профилированную поверхность (120) штампа, несущую рисунок элементов (122) рельефа, причем каучуковое основание включает в себя опорный слой (140) и первый слой, поддерживаемый опорным слоем, где первый слой содержит профилированную поверхность штампа, несущую рисунок элементов рельефа, а опорный слой выполнен из иного материала чем первый слой, при этом первый слой (120) представляет собой каучуковый слой, имеющий первый модуль Юнга, и опорный слой (140) представляет собой каучуковый слой, имеющий второй модуль Юнга, причем первый модуль Юнга больше, чем второй модуль Юнга.

12. Снабженный рисунком штамп по п.11, в котором первый слой и второй слой представляют собой полидиметилсилоксановые слои.

13. Способ импринт-литографии, предназначенный для формирования снабженной рисунком профилированной поверхности (10) на принимающей поверхности, при этом способ содержит этапы, на которых:

обеспечивают рельефный слой (14) исходного материала поверх принимающей поверхности (10);

выполняют импринтинг исходного материала с помощью снабженного рисунком штампа (100) по п.11 или 12;

модифицируют рельефный слой исходного материала в снабженный рисунком слой (16, 18); и

отводят снабженный рисунком штамп от модифицированного снабженного рисунком слоя.

14. Изделие, содержащее снабженную рисунком профилированную поверхность (10), получаемую способом по п.13, в котором снабженная рисунком профилированная поверхность содержит рисунок элементов, который продолжается в пограничную область по меньшей мере одного профиля профилированной поверхности.

15. Применение снабженного рисунком штампа по п.11 или 12 для импринт-литографии.