Способ изготовления фазовых дифракционных решеток, микроструктур и контактных масок - RU2016110955A

Способ изготовления фазовых дифракционных решеток, микроструктур и контактных масок, заключающийся в нанесении молибденовой пленки на поверхность диэлектрической подложки с последующим воздействием на нее сфокусированным лазерным излучением, отличающийся тем, что диэлектрические подложки с нанесенной на них пленкой молибдена после воздействия лазерного излучения выдерживают в муфельной печи при температуре 500°C в течение 0,5-3,5 мин.