Способ для разбиения изображения для использования в устройстве для многопучковой литографии - RU2013156037A

Реферат

1. Способ для разбиения изображения для использования в устройстве для многопучковой литографии, способ содержит этапы, при которых:- предоставляют входное изображение, подлежащее экспонированию на целевую поверхность посредством множества составляющих пучков устройства для многопучковой литографии;- идентифицируют первые области в пределах входного изображения, при этом каждая первая область является областью, которая является экспонируемой исключительно одиночным составляющим пучком из множества составляющих пучков;- идентифицируют вторые области в пределах входного изображения, каждая вторая область является областью, которая является экспонируемой посредством более чем одного составляющего пучка из множества составляющих пучков; и- определяют, какой участок изображения должен экспонироваться каждым составляющим пучком, на основе оценки первой и второй областей,при этом оценка первой и второй областей заключается в том, что:- идентифицируют признаки входного изображения, подлежащего экспонированию;- определяют, для каждого признака, расположен ли признак в пределах одной или более первых областей, или вторых областей, либо обеих, и- при определении, что участок признака расположен в одной из вторых областей, и участки признака расположены в более чем одной из первых областей, назначают, для каждого такого признака, экспонирование участков признака в первых областях, соответствующим одиночным составляющим пучкам соответствующих первых областей, и назначают экспонирование участка признака во второй области одному или более составляющим пучкам, выполненным с возможностью экспонирования вто�