Способы формирования волноводов и волноводы, изготовленные по указанным способам - RU2006111487A

Реферат

1. Способ формирования волновода (16), содержащий осаждение фоточувствительного сополимерного материала (14), содержащего метилметакрилат, тетрафторпропилметакрилат и эпоксидный мономер, поверх подложки (18); фиксацию оптических элементов (10, 12) относительно фоточувствительного сополимерного материала; направление света через по меньшей мере один из оптических элементов и фоточувствительный сополимерный материал в направлении к другому из оптических элементов; и улетучивание неотвержденного мономера из фоточувствительного сополимерного материала с формированием волновода.

2. Способ по п.1, в котором направление света включает управление интенсивностью света, для обеспечения порогового условия немного выше для улетучивания фоточувствительного сополимерного материала.

3. Способ по п.2, в котором этап направления света и улетучивания неотвержденного мономера осуществляются последовательно по меньшей мере дважды, причем каждое последующее действие приводит к удлинению волновода.

4. Способ по п.1, в котором направление света через по меньшей мере один из оптических элементов и фоточувствительный сополимерный материал в направление к другому из оптических элементов включает направление света через каждый из оптических элементов и фоточувствительный сополимерный материал в направлении к другому из оптических элементов.

5. Способ формирования и применения волновода (616), содержащий осаждение фоточувствительного сополимерного материала (14) поверх подложки (18); фиксацию оптических элементов (220, 10) относительно фоточувствительного сополимерного материала, причем по меньшей мере один из оптических элементов (220) содержит расщепитель (26); направление света через по меньшей мере один из оптических элементов и фоточувствительный сополимерный материал в направлении к другому из оптических элементов, причем направление включает подачу света через по меньшей мере один из оптических элементов через первый путь (28) расщепителя; улетучивание неотвержденного мономера из фоточувствительного сополимерного материала с формированием волновода; и применение волновода путем пропускания оптического сигнала через второй путь (21) расщепителя.

6. Способ формирования волновода (116), содержащий фиксацию оптических элементов (110, 112) относительно друг друга, причем каждый имеет оптическую поверхность (11, 13); обеспечение маленького шарика (114) на по меньшей мере части оптических поверхностей оптических элементов, причем маленький шарик содержит фоточувствительный сополимерный материал, что приводит к достаточному поверхностному натяжению относительно оптических поверхностей, чтобы получить шарик с криволинейной поверхностью (15); направление света через каждый из оптических элементов и маленький шарик в направлении к криволинейной поверхности и другому из оптических элементов, причем угол падения между одним из оптических элементов и искривленной поверхностью больше, чем величина условия полного внутреннего отражения, определяемого разностью показателей преломления между маленьким шариком и воздухом, окружающим маленький шарик; и улетучивание неотвержденного мономера из маленького шарика с формированием волновода.

7. Способ по п.6, кроме того включающий, после улетучивания, осаждение слоя (230, усиливающего отражение, поверх по меньшей мере части криволинейной поверхности маленького шарика.

8. Способ по п.6 включающий, кроме того, до обеспечения маленького шарика, обработку оптических поверхностей для подгонки шероховатости поверхности.

9. Способ по п.8, в котором обработка включает полировку.

10. Способ по п.8, в котором обработка включает нанесение слоя (17) покрытия до обеспечения маленького шарика.

11. Способ по п.6, в котором маленький шарик содержит метилметакрилат, тетрафторпропилметакрилат и эпоксидный мономер.

12. Способ формирования волновода (216), содержащий фиксацию оптических элементов (70, 76) относительно друг друга, причем каждый имеет оптическую поверхность (71, 77); юстировку зеркала (78), чтобы направить свет от одного из оптических элементов к другому из оптических элементов; обеспечение фоточувствительного сополимерного материала (80) между оптическими поверхностями и зеркалом; направление света через по меньшей мере один из оптических элементов в направлении к другому из оптических элементов; и улетучивание неотвержденного мономера из фоточувствительного сополимерного материала с формированием волновода.

13. Способ формирования оптического тракта, содержащий фиксацию оптических элементов (70, 76) относительно друг друга, причем каждый имеет оптическую поверхность (71, 77); перемещение и вращение зеркала (78) до тех пор, пока зеркало не будет съюстировано так, чтобы оптимально направлять свет от одного из оптических элементов к другому из оптических элементов; и закрепление съюстированного зеркала в этом положении.

14. Способ по п.13, в котором фиксация оптических элементов включает фиксацию оптических элементов так, чтобы оптические поверхности были по существу ортогональны; причем фиксация включает позиционирование одного оптического элемента поверх горизонтальной поверхности подложки и позиционирование другого оптического элемента в вертикальном отверстии подложки; и содержащий, кроме того, обеспечение подложки, содержащей на себе диэлектрический слой, причем в диэлектрическом слое имеется канавка с по меньшей мере одной концевой частью, расположенной поверх вертикального отверстия, причем зеркало размещено на волокне, и причем перемещение включает движение волокна вдоль канавки, а вращение включает вращение волокна в пределах канавки.

15. Способ по п.14, в котором закрепление содержит размещение оптического материала (80) между оптическими поверхностями и зеркалом, отверждение материала и затем удаление оптического зеркала.

16. Волновод (116), содержащий маленький шарик (114) поверх оптических поверхностей (11, 13) оптических элементов (110, 112), неподвижных относительно друг друга, причем маленький шарик содержит предварительно отвержденный сополимерный материал, имеющий достаточное поверхностное натяжение относительно оптических поверхностей, для формирования криволинейной поверхности (15), причем центральная часть маленького шарика содержит материал, имеющий более высокий показатель преломления, чем другая часть маленького шарика, формируя тракт в отраженном свете между оптическими поверхностями.

17. Волновод (216), содержащий оптические элементы (70, 76), зафиксированные относительно друг друга, причем каждый имеет оптическую поверхность (71, 77); зеркало (78), съюстированное так, чтобы направлять свет от одного из оптических элементов к другому из оптических элементов; фоточувствительный сополимерный материал (80) между оптическими поверхностями и зеркалом, причем центральная часть фоточувствительного сополимерного материала содержит материал с более высоким показателем преломления, чем другая часть фоточувствительного сополимерного материала, образуя тракт в отраженном свете между оптическими поверхностями.

18. Оптический тракт, содержащий оптические элементы (70, 76), зафиксированные относительно друг друга, причем каждый имеет оптическую поверхность (71, 77); и зеркало (78), расположенное на волокне и съюстированное так, чтобы оптимально направлять свет от одного из оптических элементов к другому из оптических элементов.