Способ изготовления оптического волновода с "гребенчатой" структурой с низкими потерями связи между оптическим волноводом с " гребенчатой" структурой и оптическим волокном, и оптический волновод с "гребенчатой" структурой, изготовленный этим способом - RU2016135353A

1. Способ изготовления оптического волновода (40) с «гребенчатой» структурой с низкими потерями связи между оптическим волноводом (40) с «гребенчатой» структурой и оптическим волокном (5), при этом способ содержит следующие этапы, на которых:

- выполняют (100) оптический волновод на поверхности диэлектрической подложки (10), при этом оптический волновод имеет первый конец (А) и второй конец (В), противоположный первому концу (А);

- вырезают (200) две параллельные выемки (R1, R2), разделенные расстоянием w_r, на поверхности диэлектрической подложки для получения оптического волновода (40) с «гребенчатой» структурой шириной w_r, выступающего между двумя выемками (R1, R2),

отличающийся тем, что вырезание осуществляют так, что глубина каждой выемки (R1, R2) непрерывно и постепенно изменяется от нулевой глубины на уровне первого конца оптического волновода, выполненного с возможностью приема оптического волокна, до максимальной глубины (H_m) на заранее определенном расстоянии (I_p) от первого конца оптического волновода, при этом изменение глубины каждой выемки (R1, R2) образует вертикальную переходную зону (50) оптической моды длиной (I_p) между оптическим волноводом (40) с «гребенчатой» структурой и оптическим волокном (5).

2. Способ по п. 1, в котором оптический волновод (20) является планарным волноводом.

3. Способ по п. 2, в котором уменьшение глубины каждой выемки (R1, R2) осуществляют, начиная от первого конца оптического волновода.

4. Способ по п. 1, в котором оптический волновод (20) является микроленточным волноводом.

5. Способ по п. 4, в котором уменьшение глубины каждой выемки (R1, R2) осуществляют, начиная с заранее определенного расстояния (I_d) от первого конца оптического волновода.

6. Способ по любому из пп. 1-5, в котором вырезание является механическим вырезанием.

7. Способ по п. 6, в котором механическое вырезание производят при помощи циркулярной пилы, содержащей по меньшей мере одно лезвие.

8. Способ по п. 7, в котором механическое вырезание производят при помощи лезвия (60) циркулярной пилы.

9. Способ по любому из пп. 7 или 8, в котором лезвие (60) циркулярной пилы

постепенно опускают на уровне заранее определенного расстояния (I_p) от первого конца оптического волновода так, чтобы глубина изменялась по дуге окружности с радиусом, равным радиусу лезвия (60) циркулярной пилы.

10. Способ по п. 9, в котором, как только лезвие (60) циркулярной пилы достигает необходимой глубины выемок (R1, R2), ему сообщают поступательное движение параллельно поверхности диэлектрической подложки (10).

11. Способ по п. 7, в котором механическое вырезание производят при помощи двух лезвий циркулярной пилы с одной осью, отстоящих друг от друга на ширину (w_r) оптического волновода с «гребенчатой» структурой.

12. Способ по любому из пп. 1-5, в котором вырезание осуществляют посредством лазерного травления.

13. Способ по любому из пп. 1-5, 7, 8, 10, 11, в котором вырезание осуществляют так, что глубина каждой выемки (R1, R2) изменяется непрерывно и постепенно от нулевой глубины на уровне второго конца оптического волновода и до максимальной глубины на заранее определенном расстоянии (I_p) от второго конца оптического волновода, выполненного с возможностью приема оптического волокна, при этом изменение глубины каждой выемки (R1, R2) образует вертикальную переходную зону (50') оптической моды длиной (I_d) между оптическим волноводом с «гребенчатой» структурой и оптическим волокном (5').

14. Способ по п. 6, в котором вырезание осуществляют так, что глубина каждой выемки (R1, R2) изменяется непрерывно и постепенно от нулевой глубины на уровне второго конца оптического волновода и до максимальной глубины на заранее определенном расстоянии (I_p) от второго конца оптического волновода, выполненного с возможностью приема оптического волокна, при этом изменение глубины каждой выемки (R1, R2) образует вертикальную переходную зону (50') оптической моды длиной (I_d) между оптическим волноводом с «гребенчатой» структурой и оптическим волокном (5').

15. Способ по п. 9, в котором вырезание осуществляют так, что глубина каждой выемки (R1, R2) изменяется непрерывно и постепенно от нулевой глубины на уровне второго конца оптического волновода и до максимальной глубины на заранее определенном расстоянии (I_p) от второго конца оптического волновода, выполненного с возможностью приема оптического волокна, при этом изменение глубины каждой выемки (R1, R2) образует вертикальную переходную зону (50') оптической моды длиной (I_d) между оптическим волноводом с «гребенчатой» структурой и оптическим волокном (5').

16. Способ по п. 12, в котором вырезание осуществляют так, что глубина каждой выемки (R1, R2) изменяется непрерывно и постепенно от нулевой глубины на уровне

второго конца оптического волновода и до максимальной глубины на заранее определенном расстоянии (I_p) от второго конца оптического волновода, выполненного с возможностью приема оптического волокна, при этом изменение глубины каждой выемки (R1, R2) образует вертикальную переходную зону (50') оптической моды длиной (I_d) между оптическим волноводом с «гребенчатой» структурой и оптическим волокном (5').

17. Оптический волновод с «гребенчатой» структурой с низкими потерями связи между оптическим волноводом с «гребенчатой» структурой и оптическим волокном, отличающийся тем, что изготовлен способом по любому из пп. 1-16.