Двумерно-периодическая светофильтрующая решетка - RU2013155532A

Реферат

1. Двумерно-периодическая, светофильтрующая решетка, которая имеет связанный высокопреломляющий, прежде всего металлический, базовый слой (5), который задает плоскость решетки, и над базовым слоем (3) двумерно-регулярный узор (6) из отдельных высокопреломляющих, прежде всего металлических, поверхностных элементов (5), которые простираются соответственно параллельно плоскости решетки и соответственно удалены от базового слоя (5) за счет промежуточного диэлектрика (4) на расстояние (h), которое больше толщины базового слоя (3) и поверхностных элементов (5), причем регулярный узор (6) по меньшей мере в двух направлениях, которые проходят параллельно плоскости решетки, имеет периодичность (p, p) от 100 нм до 800 нм, предпочтительным образом от 200 нм до 500 нм.2. Решетка по п. 1, причем базовый слой (3) имеет под каждым поверхностным элементом (5) отверстие (8).3. Решетка по п. 1 или 2, причем базовый слой (3) и поверхностные элементы (5) включают в себя материал, который содержит: Al, Ag, Cu, Cr, Si, Zn, Ti, Pt, Pd, Та и их сплавы.4. Решетка по п. 1, причем промежуточный диэлектрик (4) выполнен под каждым поверхностным элементом (5) в виде столба, на котором расположен поверхностный элемент (5), и, предпочтительным образом, имеет показатель преломления от 1,4 до 1,6.5. Решетка по п. 1 или 4, которая утоплена в соответствующий заливочный диэлектрик (7), который предпочтительным образом имеет тот же показатель преломления, что и промежуточный диэлектрик (4).6. Решетка по п. 1, причем регулярный узор (6) поверхностных элементов (5) имеет коэффициент заполнения поверхности 0,15-0,85, предпочтительным образом 0,3-0,7.7. Решетка по п. 1, причем расстояние (h), на котором поверхностные элементы распо