Термостабильное многослойное зеркало для крайнего ультрафиолетового спектального диапазона - RU2007127839A

Реферат

1. Многослойное зеркало для крайнего ультрафиолетового (УФ) излучения, которое содержит множество чередующихся слоев (4) молибдена и слоев (3) кремния,

отличающееся тем, что

на множестве граничных поверхностей между соответствующим слоем (4) молибдена и соответствующим соседним слоем (3) кремния расположен барьерный слой (5), который содержит борид кремния.

2. Многослойное зеркало по п.1, отличающееся тем, что на всех граничных поверхностях между соответствующим слоем (4) молибдена и соответствующим слоем (3) кремния расположен барьерный слой (5), который содержит борид кремния.

3. Многослойное зеркало для крайнего ультрафиолетового (УФ) излучения, которое содержит множество чередующихся слоев (4) молибдена и слоев (3) кремния,

отличающееся тем, что

на множестве граничных поверхностей между соответствующим слоем (4) молибдена и соответствующим соседним слоем (3) кремния расположен барьерный слой (5), который содержит нитрид кремния.

4. Многослойное зеркало по п.3, отличающееся тем, что на всех граничных поверхностях между соответствующим слоем (4) молибдена и соответствующим слоем (3) кремния расположен барьерный слой (5), который содержит нитрид кремния.

5. Многослойное зеркало по п.1 или 3, отличающееся тем, что на граничных поверхностях, на которых в направлении роста слой (4) молибдена следует за слоем (3) кремния, размещен, соответственно, барьерный слой (5), который содержит нитрид кремния или борид кремния, а на граничных поверхностях, на которых в направлении роста слой (3) кремния следует за слоем (4) молибдена, соответственно, не размещается барьерный слой.

6. Многослойное зеркало по любому из пп. 1-4, отличающееся тем, что барьерные слои (5) имеют толщину от 0,2 до 0,8 нм.

7. Многослойное зеркало по любому из пп. 1-4, отличающееся тем, что многослойное зеркало (1) содержит, по меньшей мере, один накрывающий слой (6), который выполнен не из кремния или молибдена.

8. Многослойное зеркало по п.7, отличающееся тем, что накрывающий слой содержит нитрид кремния или борид кремния.

9. Многослойное зеркало по п.7, отличающееся тем, что накрывающий слой содержит оксиды, нитриды, карбиды или бориды, или, по меньшей мере, один из следующих материалов: рутений, родий, скандий и цирконий.

10. Многослойное зеркало по любому из пп.1-4, отличающееся тем, что многослойное зеркало (23) нанесено на искривленную поверхность подложки (24).

11. Многослойное зеркало по п.10, отличающееся тем, что поверхность подложки (24) имеет асферическую кривизну.

12. Многослойное зеркало по любому из пп.1-4, отличающееся тем, что предусмотрено нагревательное устройство (27), чтобы нагревать многослойное зеркало (23) до рабочей температуры от 300°С или выше, предпочтительно до 400°С или выше.

13. Многослойное зеркало по п.12, отличающееся тем, что многослойное зеркало (23) размещено на подложке (24), на которой размещено нагревательное устройство (27).

14. Многослойное зеркало по любому из пп.1-4, отличающееся тем, что многослойное зеркало (23) является коллекторным зеркалом источника (25) излучения крайнего УФ-диапазона.

15. Применение многослойного зеркала по любому из пунктов 1-14 для отражения излучения крайнего УФ-диапазона при рабочей температуре от 300 до 500°С.