Способ получения показания о состоянии турбомолекулярного насоса и турбомолекулярный насос - RU2009106215A

Реферат

1. Способ получения показания о состоянии турбомолекулярного насоса, в котором ! с помощью соединенного с турбомолекулярным насосом вибрационного датчика (10) определяют характеристику колебаний, ! характеристику колебаний передают на анализирующее устройство (12), ! в анализирующем устройстве (12) расположен фильтр (16), прежде всего, интегральная схема частотного фильтра, в котором установлена частота для определения соотнесенной амплитуды колебаний, ! в анализирующем устройстве (12) с использованием микропроцессора (22) турбомолекулярного насоса фактическая амплитуда колебаний сравнивается с по меньшей мере одним предельным значением, и ! при превышении предельного значения передают сигнал в контрольный орган (30). ! 2. Способ по п.1, в котором фильтр (16) выполнен с возможностью последовательной настройки путем установки различных частот. ! 3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что передаваемый при превышении предельного значения сигнал передают через устройство (28) для передачи данных. ! 4. Способ по п.1 или 2, в котором амплитуды колебаний измеряют на нескольких частотах и измеренные амплитуды колебаний объединяют в суммарное значение. ! 5. Способ по п.4, в котором суммарное значение определяют суммированием отдельных измеренных амплитуд колебаний. ! 6. Способ по п.4, в котором измеряют несколько частот в критическом частотном диапазоне, который расположен, прежде всего, в диапазоне от 0,3-кратной до 50-кратной частоты вращения турбомолекулярного насоса. ! 7. Способ по п.1, в котором при выдаче предупредительного сигнала дополнительно учитывают параметры турбомолекулярного насоса и/или условия окружающей среды. ! 8. Сп�