Покрытие для газового подшипника - RU2008146812A

Реферат

1. Вакуумный насос (1) без смазки с впускным отверстием (2), выпускным отверстием (3), несущим ротор (16) газового подшипника валом (4), который установлен в газовых подшипниках (5), отличающийся тем, что по меньшей мере поверхность (9) газового подшипника, обращенная в сторону вала (4) и/или ротора (16) газового подшипника, имеет твердый слой (10) толщиной в диапазоне от 0,5 до 30 мкм из материала, который имеет микротвердость не менее 1000 НК при измерительном усилии 0,01 Н. ! 2. Вакуумный насос (1) по п.1, отличающийся тем, что он содержит статорные элементы (11) газового подшипника, которые структурированы таким образом, что они имеют впускные и выпускные каналы в виде устройств (12) для подвода газа и отверстий (13) для выпуска газа. ! 3. Вакуумный насос (1) по п.1, отличающийся тем, что твердый слой (10) имеется только на той части статорных элементов (11) газового подшипника, которая обращена непосредственно в сторону вала (4). ! 4. Вакуумный насос (1) по п.1, отличающийся тем, что материал твердого слоя (10) выбран из углерода или карбидов, нитридов или карбонитридов металлов W, Cr или Ti. ! 5. Вакуумный насос (1) по п.1, отличающийся тем, что толщина твердого слоя (10) по всему слою изменяется на величину до 10%. ! 6. Вакуумный насос (1) по п.1, отличающийся тем, что шероховатость Ra твердого слоя (10) составляет до 500 нм, прежде всего, до 100 нм. ! 7. Вакуумный насос (1) по п.1, отличающийся тем, что толщина твердого слоя (10) находится в диапазоне от 1 до 5 мкм, прежде всего, от 1 до 2,5 мкм. ! 8. Способ изготовления газового подшипника вакуумного насоса (1) по одному из пп.1-7, в котором твердый слой (10) наносят способом нанесения покрытия, выбранным из группы, включающей в себя PVD, CVD, электролиз �