Микроустройства - RU2002117431A

Реферат

1. Микроустройство, включающее по меньшей мере один безлопастной ротор, причем ротор выполнен с возможностью передачи энергии текучей среде или получения энергии от текучей среды.

2. Микроустройство по п.1, в котором ротор имеет диск диаметром, не превышающим 20 мм.

3. Микроустройство по п.1 или 2, в котором ротор включает вал, несущий по меньшей мере два расположенных в центре, разнесенных на небольшое расстояние плоских диска, причем диски имеют противостоящие поверхности, образующие проход для текучей среды.

4. Микроустройство по п.3, в котором по меньшей мере один из дисков имеет одну или более прорезей, обеспечивающих текучей среде входить в проход для текучей среды или выходить из него.

5. Микроустройство по п.4, в котором прорези расположены вблизи центральной части диска.

6. Микроустройство по п.4 или 5, в котором выполнено два или более дисков с прорезями, причем прорези каждого диска выровнены относительно прорезей другого диска.

7. Микроустройство по любому из пп.3-6, в котором диски отделены распорными элементами.

8. Микроустройство по любому из пп.1-7, в котором ротор включает опорный диск, удерживающий множество круглых дисков, расположенных соосной группой на небольшом расстоянии друг от друга.

9. Микроустройство по п.8, в котором каждый круглый диск крепится к опорному диску или к соседнему диску группой распорных элементов.

10. Микроустройство по п.8 или 9, в котором опорный диск установлен соосно с валом.

11. Микроустройство по любому из пп.1-10, в котором вокруг периферии безлопастного ротора расположен статор с лопатками.

12. Микроустройство по любому из пп.1-11, в котором устройство выполнено из материалов, способных работать при температуре, превышающей 1000°С.

13. Микроустройство по любому из пп.1-12, в котором ротор выполнен из материала, имеющего предел прочности на разрыв, обеспечивающий работу ротора со скоростями, превышающими 500000 об./мин при повышенных температурах, связанных с горением.

14. Микроустройство по любому из пп.1-12, в котором ротор выполнен из монокристаллического материала.

15. Микроустройство по п.13 или 14, в котором ротор выполнен по меньшей мере частично из материала, выбранного из следующих материалов: кремний, карбид кремния, кремний с покрытием из карбида кремния и кремний с покрытием из нитрида кремния.

16. Микроустройство по любому из пп.1-15, в котором ротор выполнен с использованием технологии микрообработки.

17. Микроустройство по п.16, в котором ротор выполнен с использованием техники фотолитографии.

18. Микроустройство по п.16, в котором ротор выполнен посредством вакуумного осаждения.

19. Ротор для микроустройства, который включает по меньшей мере пару расположенных друг от друга на небольшом расстоянии, выровненных соосно дисков, образующих противостоящие плоские поверхности, причем по меньшей мере один диск имеет по меньшей мере одну прорезь, посредством которой образован проход для текучей среды между прорезью, плоскими поверхностями и периферией ротора, причем ротор является безлопастным и выполнен из монокристаллического материала.

20. Ротор для микроустройства, который включает по меньшей мере два соосно выровненных, расположенных друг от друга на небольшом расстоянии диска, образующих противостоящие плоские поверхности, причем по меньшей мере один диск имеет по меньшей мере одну прорезь, посредством которой образован проход для текучей среды между прорезью, плоскими поверхностями и периферией ротора, причем ротор выполнен из материала, имеющего предел прочности на разрыв, обеспечивающий работу ротора со скоростями, превышающими 500000 об./мин при повышенных температурах, связанных с горением.

21. Ротор по п.19 или 20, в котором ротор имеет цельную конструкцию.

22. Ротор для микроустройства, который включает опорный диск и по меньшей мере один соосно расположенный на расстоянии от него круглый диск, прикрепленный к опорному диску центральной ступицей, образующей по меньшей мере одну прорезь, причем ротор выполнен безлопастным, а круглый диск образует свободный проход для текучей среды между прорезью и периферией диска.

23. Ротор по любому из пп.19-22, который имеет диск диаметром не более 20 мм.

24. Ротор по любому из пп.19-23, который включает вал, несущий расположенные в центре диски.

25. Ротор по любому из пп.19-24, в котором по меньшей мере одна прорезь расположена вблизи центральной части по меньшей мере одного из дисков.

26. Ротор по любому из пп.19-25, в котором выполнено по меньшей мере два диска, каждый из которых имеет по меньшей мере одну прорезь, при этом по меньшей мере одна прорезь каждого диска выровнена с прорезью другого диска.

27. Ротор по любому из пп.19-26, в котором диски отделены распорными элементами.

28. Ротор по любому из пп.19-21, в котором ротор включает опорный диск, несущий множество круглых дисков, расположенных соосно, с небольшим расстоянием друг от друга.

29. Ротор по п.28, в котором каждый круглый диск прикреплен к опорному диску или к соседнему диску группой распорных элементов.

30. Ротор по п.28 или 29, в котором опорный диск установлен на валу соосно с ним.

31. Ротор по любому из пп.19-30, в котором ротор выполнен из материала, способного работать при температуре, превышающей 1000°С.

32. Ротор по любому из пп.19-31, который выполнен из материала, имеющего предел прочности на разрыв, обеспечивающий работу ротора со скоростями, превышающими 500000 об./мин при повышенных температурах, связанных с горением.

33. Ротор по любому из пп.20-22, который выполнен из монокристаллического материала.

34. Ротор по любому из пп.19-33, который выполнен по меньшей мере частично из материала, выбранного из следующих материалов: кремний, карбид кремния, кремний с покрытием из карбида кремния и кремний с покрытием из нитрида кремния.

35. Ротор по любому из пп.19-34, который выполнен с использованием технологии микрообработки.

36. Ротор по п.35, который выполнен с использованием техники фотолитографии.

37. Ротор по п.35, который выполнен посредством вакуумного осаждения.