Измерение электрических управляющих параметров дисплея на основе мэмс и устройство для электрического измерения таких параметров - RU2010133666A

Реферат

1. Способ измерения порогового напряжения устройства МЭМС, согласно которому: ! к устройству прикладывают перепады напряжения и измеряют количество заряда, переданного на устройство при приложении по меньшей мере одного из указанных перепадов напряжения; ! на основании измеренного заряда определяют, изменяет ли каждый из указанных перепадов напряжения состояние устройства; и ! определяют пороговое напряжение по меньшей мере частично на основе перепада напряжения, вызывающего изменение состояния. ! 2. Способ по п.1, согласно которому определение порогового напряжения включает определение напряжения, достаточного для приведения в движение подвижного элемента устройства. ! 3. Способ по п.1, согласно которому измерение заряда включает интегрирование силы тока, приложенной к устройству. ! 4. Способ по п.1, согласно которому измерение заряда включает измерение силы тока, приложенной к устройству. ! 5. Способ по п.1, согласно которому измерение заряда включает цифровое интегрирование сигнала и/или аналоговое интегрирование сигнала. ! 6. Способ по п.1, согласно которому дополнительно: ! заземляют вывод устройства и прикладывают напряжение инициализации, которое переводит устройство в исходное состояние; ! перед приложением перепадов напряжения подключают вывод устройства к цепи интегратора и ! измеряют заряд посредством цепи интегратора. ! 7. Способ по п.6, согласно которому дополнительно: ! перед подачей перепада напряжения положительной полярности подключают вывод устройства к первому интегратору; ! посредством цепи первого интегратора измеряют заряд с определением первого порогового значения; ! перед подачей �