Система и способ защиты матрицы микроэлектромеханической системы с использованием задней стенки с неплоской частью - RU2005129956A

Реферат

1. Электронное устройство, содержащее подложку; матрицу микроэлектромеханических устройств, сформированную на подложке; и заднюю стенку, расположенную поверх матрицы и имеющую внутреннюю поверхность и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность задней стенки обращена к матрице с зазором между ними, внешняя поверхность обращена в сторону от подложки, причем расстояние между внутренней поверхностью задней стенки и подложкой изменяется поперек подложки.

2. Электронное устройство по п.1, в котором микроэлектромеханические устройства содержат интерферометрические модуляторы.

3. Электронное устройство по п.1, в котором внутренняя поверхность содержит центральную область и периферическую область, и в котором указанное расстояние больше в центральной области, чем в периферической области.

4. Электронное устройство по п.1, в котором задняя стенка по существу выгнута в сторону от матрицы.

5. Электронное устройство по п.1, в котором расстояние измеряют от точки на внутренней поверхности до самой ближайшей точки на подложке.

6. Электронное устройство по п.1, в котором внутренняя поверхность является, по существу, плавно изогнутой.

7. Электронное устройство по п.1, в котором расстояние изменяется, по существу, резко, по меньшей мере, в одном месте на внутренней поверхности.

8. Электронное устройство по п.1, в котором расстояние, по существу, является одинаковым, по меньшей мере, на части внутренней поверхности.

9. Электронное устройство по п.1, в котором задняя стенка, по существу, имеет везде одинаковую толщину.

10. Электронное устройство по п.1, в котором внутренняя поверхность содержит центральную область и периферическую область, и в котором задняя стенка имеет толщину, которая, по существу, больше в центральной области, чем в периферической области.

11. Электронное устройство по п.1, в котором внешняя поверхность задней стенки, по существу, является плоской, и в котором расстояние между внешней поверхностью и подложкой является, по существу, одинаковым поперек подложки.

12. Электронное устройство по п.1, в котором расстояние между внешней поверхностью и подложкой, по существу, изменяется поперек подложки.

13. Электронное устройство по п.1, дополнительно содержащее одну или несколько усиливающих структур, сформированных, по меньшей мере, либо на внутренней поверхности либо на внешней поверхности задней стенки.

14. Электронное устройство по п.13, в котором в позиции на внутренней поверхности, на которой сформированы усиливающие структуры, расстояние измеряют от дальнего конца усиливающей структуры до подложки.

15. Электронное устройство по п.13, в котором расстояние изменяется по некоторой области внутренней поверхности, на которой сформированы усиливающие структуры.

16. Электронное устройство по п.1, в котором задняя стенка содержит выступ, простирающийся в направлении подложки вдоль края задней стенки.

17. Электронное устройство по п.1, дополнительно содержащее уплотнитель, расположенный между подложкой и внутренней поверхностью вдоль краев внутренней поверхности.

18. Электронное устройство по п.1, дополнительно содержащее процессор, который электрически соединен с указанной матрицей микроэлектромеханических устройств, причем указанный процессор выполнен с возможностью обработки данных изображения; и устройство памяти электрически соединенное с указанным процессором.

19. Электронное устройство по п.1, дополнительно содержащее управляющую схему, выполненную с возможностью передачи, по меньшей мере, одного сигнала в указанную матрицу микроэлектромеханических устройств.

20. Электронное устройство по п.19, дополнительно содержащее контроллер, выполненный с возможностью передачи, по меньшей мере, части указанных данных изображения в указанную управляющую схему.

21. Электронное устройство по п.18, дополнительно содержащее модуль источника изображения, выполненный с возможностью передачи указанных данных изображения в указанный процессор.

22. Электронное устройство по п.21, в котором указанный модуль источника изображения содержит, по меньшей мере, один приемник, передатчик и приемопередатчик.

23. Электронное устройство по п.18, дополнительно содержащее устройство ввода, выполненное с возможностью приема введенных данных и обмена данными указанного устройства ввода с указанным процессором.

24. Способ изготовления электронного устройства, содержащий этапы, на которых обеспечивают промежуточное устройство, содержащее подложку и матрицу микроэлектромеханических устройств, сформированную на подложке; и формируют заднюю стенку поверх матрицы промежуточного устройства с зазором между задней стенкой и матрицей, причем задняя стенка имеет внутреннюю поверхность, обращенную к матрице, при этом расстояние между внутренней поверхностью и подложкой изменяется поперек подложки.

25. Способ по п.24, в котором формирование задней стенки дополнительно содержит обеспечение задней стенки, имеющей внутреннюю поверхность; размещение задней стенки над матрицей таким образом, что внутренняя поверхность обращена к матрице; и прикрепление задней стенки к подложке вдоль периферии задней стенки.

26. Способ по п.25, в котором задняя стенка по существу является изогнутой.

27. Способ по п.25, в котором внутренняя поверхность по существу углублена в своей центральной области.

28. Способ по п.25, в котором задняя стенка по существу имеет везде одинаковую толщину.

29. Способ по п.25, в котором задняя стенка имеет изменяющуюся толщину.

30. Способ по п.25, в котором внутренняя поверхность содержит центральную область и периферическую область, и в котором задняя стенка имеет толщину, которая, по существу, больше в центральной области, чем в периферической области.

31. Способ по п.25, в котором задняя стенка содержит изогнутую часть.

32. Способ по п.31, в котором обеспечение задней стенки содержит воздействие на, по существу, плоскую пластину для ее искривления.

33. Способ по п.31, в котором обеспечение задней стенки содержит обеспечение, по существу, плоской пластины, содержащей два слоя, которые имеют разную скорость расширения при нагревании; и применение нагревания к, по существу, плоской пластине, создавая таким образом изгиб на указанной пластине.

34. Способ по п.31, в котором обеспечение задней стенки содержит обеспечение по существу плоской пластины, содержащей два слоя, причем каждый слой имеет скорость расширения при нагревании, которая отличается от скорости расширения другого слоя, при этом размещение задней стенки содержит формирование слоя термически отверждаемого материала, помещенного между подложкой и, по существу, плоской пластиной вдоль ее периферии, и при этом прикрепление задней пластины содержит применение нагревания, достаточного для отверждения термически отверждаемого материала.

35. Электронное устройство, изготовленное способом по п.24.

36. Электронное устройство, содержащее пропускающее средство для пропускания через него света; средство модуляции для модуляции света, пропускаемого через пропускающее средство; и средство покрытия для покрытия средства модуляции, причем средство покрытия содержит внутреннюю поверхность и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность обращена к пропускающему средству с зазором между ними, внешняя поверхность направлена от пропускающего средства, и при этом расстояние между внутренней поверхностью средства покрытия и пропускающим средством изменяется поперек пропускающего средства.

37. Электронное устройство по п.36, в котором пропускающее средство содержит прозрачную подложку.

38. Электронное устройство по п.36 или 37, в котором устройство модуляции содержит матрицу интерферометрических модуляторов.

39. Электронное устройство по п.36 или 37, в котором средство покрытия содержит изогнутую заднюю стенку.

40. Электронное устройство по п.36, в котором средство покрытия содержит одну или несколько усиливающих структур, встроенных в него.

41. Электронное устройство по п.36, в котором средство покрытия имеет углубление на его внутренней поверхности.

42. Электронное устройство по п.36, в котором средство покрытия имеет изменяющуюся толщину.