Способ и система для травления дифторидом ксенонас повышенной эффективностью - RU2005129948A

Реферат

1. Устройство для травления, содержащее камеру травления и блок травителя, в котором блок травителя выполнен с возможностью перемещения между отведенным положением и выдвинутым положением, в отведенном положении блок травителя, по существу, находится снаружи камеры травления и в выдвинутом положении блок травителя, по существу, находится внутри камеры травления.

2. Устройство по п.1, в котором камера травления содержит нержавеющую сталь.

3. Устройство по п.1, дополнительно содержащее опору основания.

4. Устройство по п.3, дополнительно содержащее оптический датчик, выполненный с возможностью определения коэффициента отражения основания на опоре основания.

5. Устройство по п.1, дополнительно содержащее лицевую панель, в котором лицевая панель изолирует камеру травления от блока травителя, когда блок травителя находится в отведенном положении.

6. Устройство по п.1, дополнительно содержащее систему продувки.

7. Устройство по п.1, в котором перемещение блока между выдвинутым и отведенным положением является автоматическим.

8. Устройство по п.1, в котором блок травителя содержит платформу, выполненную для поддержки твердого дифторида ксенона.

9. Устройство для травления, содержащее средство размещения основания для травления, в котором основание выполнено, так что является частью устройства микроэлектромеханических систем, средство поддержки основания, средство поддержки травителя, и средство позиционирования средства поддержки основания и средства поддержки травителя в непосредственной близости внутри средства размещения.

10. Устройство по п.9, в котором средство размещения содержит камеру травления.

11. Устройство по п.9, в котором средство поддержки основания содержит опору для основания для травления.

12. Устройство по п.9, в котором средство поддержки травителя содержит блок травителя.

13. Устройство по п.9, в котором средство позиционирования содержит устройство переноса.

14. Устройство по п.9, в котором устройство микроэлектромеханических систем содержит оптический модулятор.

15. Устройство для травления, содержащее камеру, опору для основания, на котором формируется устройство микроэлектромеханических систем, и твердый дифторид ксенона, при этом опора и твердый дифторид ксенона размещены внутри камеры.

16. Устройство по п.15, в котором устройство микроэлектромеханических систем содержит оптический модулятор.

17. Устройство для травления, содержащее опору для основания, на котором формируется устройство микроэлектромеханических систем, и твердый дифторид ксенона, при этом опора и твердый дифторид ксенона достаточно близки к пару, образованному из твердого дифторида ксенона, для травления основания, содержащего материал с возможностью травления.

18. Устройство по п.17, в котором расстояние между опорой и твердым дифторидом ксенона не превышает 10 см.

19. Способ изготовления устройства микроэлектромеханических систем, заключающийся в том, что размещают основание, содержащее материал с возможностью травления, внутри камеры травления, и размещают твердый травитель, при этом твердый травитель образует газовый травитель, который может осуществлять травление материала с возможностью травления, внутри камеры травления.

20. Способ по п.19, в котором устройство микроэлектромеханических систем содержит оптический модулятор.

21. Способ по п.19, в котором твердый травитель содержит твердый дифторид ксенона.

22. Способ по п.19, в котором материал с возможностью травления содержит молибден.

23. Способ по п.19, в котором материал с возможностью травления содержит кремний.

24. Способ изготовления устройства микроэлектромеханических систем, заключающийся в том, что размещают основание внутри камеры травления, выдвигают блок травителя в камеру травления, при этом твердый травитель поддерживается на блоке травителя, и твердый травитель образует травитель в газовой фазе, который может осуществлять травление материала на основании, и обеспечивают возможность травления материала газофазным травителем.

25. Способ по п.24, в котором устройство микроэлектромеханических систем содержит оптический модулятор.

26. Способ по п.24, в котором твердый травитель содержит твердый дифторид ксенона.

27. Способ по п.24, в котором материал на основании содержит молибден или кремний.

28. Устройство микроэлектромеханических систем, изготовленное согласно способу, заключающемуся в том, что размещают основание, содержащее материал с возможностью травления, внутри камеры травления, и размещают твердый травитель, при этом твердый травитель образует текучий травитель, который может осуществлять травление материала с возможностью травления, внутри камеры травления.

29. Устройство микроэлектромеханических систем по п.28, содержащее оптический модулятор.

30. Устройство микроэлектромеханических систем по п.28, в котором твердый травитель содержит твердый дифторид ксенона.

31. Устройство микроэлектромеханических систем по п.28, в котором материал с возможностью травления содержит молибден.

32. Устройство микроэлектромеханических систем по п.28, в котором материал с возможностью травления содержит кремний.

33. Способ изготовления устройства микроэлектромеханических систем, заключающийся в том, что обеспечивают твердый дифторид ксенона внутри камеры травления, поддерживают основание, содержащее материал с возможностью травления внутри камеры травления, и вытравливают материал с возможностью травления на основании паром, образованным твердым дифторидом ксенона.

34. Способ по п.33, в котором устройство микроэлектромеханических систем содержит оптический модулятор.

35. Способ по п.33, в котором материал с возможностью травления содержит молибден или кремний.

36. Способ изготовления устройства микроэлектромеханических систем, заключающийся в том, что поддерживают основание, содержащее материал с возможностью травления, внутри камеры травления, и позиционируют твердый дифторид ксенона в достаточной близости к основанию, так чтобы пар, образованный твердым дифторидом ксенона, вытравливал материал с возможностью травления.

37. Способ по п.36, в котором устройство микроэлектромеханических систем содержит оптический модулятор.

38. Способ по п.36, в котором материал с возможностью травления содержит молибден или кремний.