Модулятор с разделяемыми свойствами - RU2006108553A

Реферат

1. Устройство, содержащее, по меньшей мере, один модулятор света, содержащий

электродный слой, размещенный поверх подложки,

оптический пакет, размещенный поверх подложки,

перемещаемое зеркало, отделенное от электродного слоя и оптического пакета полостью, причем упомянутое перемещаемое зеркало имеет первую отражающую поверхность, обращенную к полости, и

гибкий слой, размещенный поверх перемещаемого зеркала и служащий опорой этому перемещаемому зеркалу, причем гибкий слой опирается более чем в двух местах, при этом участок гибкого слоя отделен от участка перемещаемого зеркала зазором.

2. Устройство по п.1, дополнительно содержащее множество опорных столбиков, размещенных поверх подложки, причем гибкий слой опирается на упомянутое множество опорных столбиков.

3. Устройство по п.2, в котором множество опорных столбиков представляет собой часть гибкого слоя.

4. Устройство по п.3, дополнительно содержащее, по меньшей мере, одну шинную структуру, размещенную поверх, по меньшей мере, одного из множества опорных столбиков.

5. Устройство по п.2, в котором множество опорных столбиков содержит выравнивающий материал.

6. Устройство по п.5, дополнительно содержащее, по меньшей мере, одну шинную структуру, размещенную поверх, по меньшей мере, одного из множества опорных столбиков.

7. Устройство по п.2, в котором множество опорных столбиков содержит множество заглушек в виде опорных столбиков.

8. Устройство по п.1, в котором гибкий слой находится в контакте с перемещаемым зеркалом более чем в одном месте.

9. Устройство по п.1, дополнительно содержащее, по меньшей мере, одну посадочную площадку, расположенную между зеркалом и оптическим пакетом.

10. Устройство по п.1, в котором посадочная площадка содержит изолирующий материал.

11. Устройство по п.9, в котором посадочная площадка размещена на оптическом пакете и имеет конфигурацию, обеспечивающую контакт с зеркалом.

12. Устройство по п.9, в котором посадочная площадка размещена на оптическом пакете и имеет конфигурацию, обеспечивающую контакт с гибким слоем.

13. Устройство по п.1, содержащее, по меньшей мере, два интерферометрических модулятора, причем первый модулятор, соответствующий первому цвету, содержит полость, имеющую первый размер, и при этом второй модулятор, соответствующий второму цвету, содержит полость, имеющую второй размер, причем первый и второй размеры являются разными.

14. Устройство по п.13, содержащее, по меньшей мере, третий интерферометрический модулятор, соответствующий третьему цвету и содержащий полость, имеющую третий размер, причем упомянутый третий размер отличается от упомянутых первого и второго размеров.

15. Устройство по п.14, в котором упомянутые первый, второй и третий модуляторы расположены с возможностью образования элемента изображения.

16. Способ изготовления светомодулирующего устройства, заключающийся в том, что

формируют электродный слой поверх подложки,

формируют оптический пакет поверх подложки,

осаждают первый удаляемый слой поверх электродного слоя и оптического пакета,

формируют, по меньшей мере, одно зеркало поверх первого удаляемого слоя,

осаждают второй удаляемый слой поверх слоя зеркала,

формируют гибкий слой поверх второго удаляемого слоя, причем упомянутый гибкий слой находится в контакте с упомянутым зеркалом в одном или нескольких местах и в контакте с нижележащими фиксированными слоями более чем в двух местах, и

удаляют удаляемые слои.

17. Способ по п.16, дополнительно включающий в себя формирование рисунка, по меньшей мере, на одном из первого и второго удаляемых слоев для формирования множества отверстий под столбики.

18. Способ по п.17, в котором формирование отверстий под столбики включает в себя формирование рисунка на первом и втором удаляемых слоях для экспонирования нижележащего оптического пакета.

19. Способ по п.17, в котором формирование гибкого слоя включает в себя формирование множества опорных столбиков во множестве отверстий под столбики.

20. Способ по п.17, дополнительно включающий в себя осаждение слоя выравнивающего материала перед осаждением гибкого слоя и частичное удаление выравнивающего материала для формирования множества заглушек в виде опорных столбиков.

21. Способ по п.20, в котором формирование гибкого слоя поверх второго удаляемого слоя включает в себя формирование гибкого слоя поверх множества заглушек в виде опорных столбиков, причем упомянутый гибкий слой находится в контакте более чем с двумя из множества заглушек в виде опорных столбиков.

22. Способ по п.17, дополнительно включающий в себя осаждение третьего удаляемого слоя поверх гибкого слоя и формирование, по меньшей мере, одной шинной структуры поверх, по меньшей мере, одного из множества отверстий под столбики.

23. Способ по п.22, в котором формирование, по меньшей мере, одной шинной структуры поверх, по меньшей мере, одного из множества отверстий под столбики включает в себя

формирование рисунка на третьем удаляемом слое для формирования отверстия поверх, по меньшей мере, одного из множества отверстий под столбики,

осаждение электропроводного шинного слоя поверх третьего удаляемого слоя таким образом, что электропроводный шинный слой заполняет отверстие в третьем удаляемом слое, и

формирование рисунка на электропроводном шинном слое для формирования, по меньшей мере, одной шинной структуры поверх, по меньшей мере, одного из множества отверстий под столбики.

24. Способ по п.16, дополнительно включающий в себя формирование, по меньшей мере, одной посадочной площадки поверх оптического пакета.

25. Способ по п.25, в котором формирование гибкого слоя включает в себя осаждение гибкого слоя поверх второго удаляемого слоя и формирование рисунка на упомянутом удаляемом слое и его травление для формирования множества опор.

26. Способ по п.25, в котором множество опор имеют предварительно определенные механические свойства, вследствие которых зеркало допускает состояние покоя в предварительно определенном вертикальном положении от электродного слоя и оптического пакета.

27. Способ по п.25, в котором множество опор имеют предварительно определенные механические свойства, которые вынуждают зеркало перемещаться в предварительно определенное положение относительно электродного слоя и оптического пакета после приложения постоянного напряжения.

28. Способ по п.16, в котором осаждение первого удаляемого слоя включает в себя осаждение первого удаляемого слоя, имеющего несколько толщин.

29. Способ по п.28, в котором первый удаляемый слой содержит первый участок, имеющий первую толщину, второй участок, имеющий вторую толщину, и третий участок, имеющий третью толщину, и при этом, по меньшей мере, одно зеркало размещено поверх каждого из упомянутых первого, второго и третьего участков.

30. Способ по п.29, в котором каждое зеркало соответствует интерферометрическому модулятору, и при этом толщина участков первого удаляемого слоя под зеркалами определяет цвета, отражаемые соответствующими модуляторами.

31. Модулятор света, содержащий

средства проведения электрического сигнала,

первые средства отражения света, выполненные с возможностью срабатывания в ответ на упомянутые средства проведения,

вторые средства отражения, по меньшей мере, части света, падающего на упомянутые вторые средства отражения, причем упомянутые вторые средства отражения, по существу, параллельны упомянутым первым средствам отражения, и

средства подвешивания упомянутых первых средств отражения, причем упомянутые средства подвешивания опираются более чем в двух местах, и при этом участок средств подвешивания отделен от участка первых средств отражения зазором.

32. Модулятор света по п.31, в котором средства проведения содержат электродный слой, сформированный поверх подложки.

33. Модулятор света по п.31, в котором первые средства отражения содержат перемещаемое зеркало.

34. Модулятор света по п.31, в котором вторые средства отражения содержат оптический пакет, сформированный поверх подложки.

35. Модулятор света по п.31, в котором средства подвешивания содержат гибкий слой, находящийся в контакте с первыми средствами отражения.

36. Модулятор света по п.35, в котором средства подвешивания дополнительно содержат множество заглушек в виде опорных столбиков, и при этом средства подвешивания находятся в контакте с более чем двумя из множества заглушек в виде опорных столбиков.

37. Модулятор света по п.31, дополнительно содержащий средства ограничения перемещения первых средств отражения света.

38. Модулятор света по п.31, в котором средства ограничения содержат, по меньшей мере, одну посадочную площадку, расположенную между первыми средствами отражения света и вторыми средствами отражения света.