Способы и устройства для воспрепятствования наклону зеркала в интерферометрическом модуляторе - RU2007115926A

Реферат

1. Устройство, содержащее

подложку,

оптический слой, размещенный поверх подложки, причем оптический слой, по меньшей мере, частично пропускает падающий свет,

зеркало, размещенное поверх подложки и способное перемещаться между первым положением, отстоящим от оптического слоя на первое расстояние, и вторым положением, отстоящим от оптического слоя на второе расстояние, причем первое расстояние больше второго расстояния, и зеркало имеет поверхность, обращенную от подложки, и

по меньшей мере, один неподвижный элемент, контактирующий с поверхностью зеркала, когда зеркало находится в первом положении, в котором, по меньшей мере, один неподвижный элемент способен препятствовать движению, по меньшей мере, части зеркала, когда зеркало находится в первом положении.

2. Устройство по п.1, в котором зеркало, по существу, параллельно оптическому слою, когда находится в первом положении.

3. Устройство по п.1, в котором зеркало, по существу, является плоским, когда находится в первом положении.

4. Устройство по п.1, в котором, по меньшей мере, один элемент препятствует движению, по меньшей мере, части зеркала и в направлении, в общем случае, перпендикулярном зеркалу, когда зеркало находится в первом положении.

5. Устройство по п.4, в котором, по меньшей мере, один элемент препятствует движению, по меньшей мере, части зеркала в направлении, в общем случае, параллельном зеркалу, когда зеркало находится в первом положении.

6. Устройство по п.4, в котором, по меньшей мере, один элемент препятствует вращательному движению, по меньшей мере, части зеркала, когда зеркало находится в первом положении.

7. Устройство по п.1, в котором, по меньшей мере, один элемент препятствует движению, по меньшей мере, части зеркала в направлении, в общем случае, параллельном зеркалу, когда зеркало находится во втором положении.

8. Устройство по п.7, в котором, по меньшей мере, один элемент препятствует вращательному движению, по меньшей мере, части зеркала, когда зеркало находится во втором положении.

9. Устройство по п.1, в котором, по меньшей мере, один элемент препятствует движению, по меньшей мере, части зеркала в направлении, в общем случае, параллельном зеркалу, когда зеркало занимает положение между первым и вторым положениями.

10. Устройство по п.9, в котором, по меньшей мере, один элемент препятствует вращательному движению, по меньшей мере, части зеркала, когда зеркало занимает положение между первым и вторым положениями.

11. Устройство по п.1, в котором по меньшей мере, один элемент содержит единичный сегмент, который, по существу, криволинеен.

12. Устройство по п.11, в котором концевая часть, по меньшей мере, одного элемента контактирует с, по меньшей мере, частью зеркала, когда зеркало находится в первом положении.

13. Устройство по п.1, в котором зеркало дополнительно содержит, по меньшей мере, одну выемку, которая контактирует с, по меньшей мере, одним элементом, когда зеркало находится в первом положении.

14. Устройство по п.1, в котором зеркало заслоняет, по меньшей мере, один элемент от света, падающего на устройство.

15. Устройство по п.1, дополнительно содержащий механический слой, присоединенный к зеркалу, который подвешивает зеркало поверх подложки, в котором механический слой прилагает усилие к зеркалу, что способствует контакту между, по меньшей мере, одним элементом и поверхностью зеркала, когда зеркало находится в первом положении.

16. Устройство по п.1, в котором, по меньшей мере, один элемент содержит сегмент стержня, по существу, перпендикулярный зеркалу, и сегмент головки, соединенный с сегментом стержня.

17. Устройство по п.16, в котором сегмент головки, по существу, перпендикулярен сегменту стержня.

18. Устройство по п.16, в котором сегмент головки расположен под острым углом к сегменту стержня.

19. Устройство по п.16, в котором сегмент стержня препятствует движению, по меньшей мере, части зеркала в направлении, в общем случае, параллельном зеркалу, когда зеркало находится в первом положении, и сегмент головки препятствует движению, по меньшей мере, части зеркала в направлении, в общем случае, перпендикулярном зеркалу, когда зеркало находится в первом положении.

20. Устройство по п.16, в котором сегмент головки контактирует с, по меньшей мере, частью поверхности зеркала, когда зеркало находится в первом положении.

21. Устройство по п.16, в котором, по меньшей мере, часть сегмента головки имеет ширину, превышающую ширину сегмента стержня.

22. Устройство по п.16, в котором форма сегмента головки выбрана из группы, содержащей, по существу, прямоугольную, по существу, коническую, заостренную, по существу, сферическую, удлиненную, и, по существу, форму крюка.

23. Устройство по п.16, в котором форма стержня является, по существу, конической, по существу, прямоугольной, по существу, треугольной, или, по существу, круглой.

24. Устройство по п.16, в котором сегмент головки дополнительно содержит выпуклую часть, которая контактирует с, по меньшей мере, частью зеркала, когда зеркало находится в первом положении.

25. Устройство по п.24, в котором зеркало дополнительно содержит углубленную часть, которая контактирует с выпуклой частью сегмента головки, когда зеркало находится в первом положении.

26. Устройство по п.16, в котором, по меньшей мере, один элемент дополнительно содержит область контакта, соединенную с сегментом головки, в котором область контакта контактирует с, по меньшей мере, частью поверхности зеркала, когда зеркало находится в первом положении.

27. Устройство по п.1, в котором устройство представляет собой интерферометрический модулятор.

28. Устройство визуального отображения, содержащее совокупность устройств, каждое устройство содержит

подложку,

оптический слой, размещенный поверх подложки, причем оптический слой, по меньшей мере, частично пропускает падающий свет,

зеркало, размещенное поверх подложки и способное перемещаться между первым положением, отстоящим от оптического слоя на первое расстояние, и вторым положением, отстоящим от оптического слоя на второе расстояние, причем первое расстояние больше второго расстояния, и зеркало имеет поверхность, обращенную от подложки, и,

по меньшей мере, один неподвижный элемент, контактирующий с поверхностью зеркала, когда зеркало находится в первом положении, в котором, по меньшей мере, один неподвижный элемент способен препятствовать движению, по меньшей мере, части зеркала, когда зеркало находится в первом положении.

29. Устройство визуального отображения по п.28, в котором каждое устройство представляет собой интерферометрический модулятор.

30. Устройство визуального отображения по п.28, дополнительно содержащее

процессор, электрически связанный с совокупностью устройств, причем процессор способен обрабатывать данные изображения, и

запоминающее устройство, электрически связанное с процессором.

31. Устройство визуального отображения по п.30, дополнительно содержащее

первый контроллер, способный передавать, по меньшей мере один сигнал на совокупность устройств, и

второй контроллер, способный, передавать, по меньшей мере, часть данных изображения на первый контроллер.

32. Устройство визуального отображения по п.30, дополнительно содержащее модуль источника изображения, способный передавать данные изображения на процессор.

33. Устройство визуального отображения по п.32, в котором модуль источника изображения содержит, по меньшей мере, один из приемника, приемопередатчика и передатчика.

34. Устройство визуального отображения по п.30, дополнительно содержащее устройство ввода, способное принимать входные данные и пересылать входные данные на процессор.

35. Устройство, содержащее

средство для удержания интерферометрического модулятора,

средство для, по меньшей мере, частичного пропускания падающего света, причем средство для, по меньшей мере, частичного пропускания света расположено поверх средства для удержания,

средство для отражения света, причем средство для отражения расположено поверх средства для удержания и способно перемещаться между первым положением, отстоящим от средства для, по меньшей мере, частичного пропускания света на первое расстояние, и вторым положением, отстоящим от средства для, по меньшей мере, частичного пропускания света на второе расстояние, причем первое расстояние больше второго расстояния, и средство для отражения имеет поверхность, обращенную от поддерживающего средства, и

средство для стабилизации отражающего средства, причем средство для стабилизации неподвижно и способно поддерживать средство для отражения в требуемой ориентации, когда средство для отражения находится в первом положении, средство для стабилизации контактирует с поверхностью средства для отражения, когда средство для отражения находится в первом положении.

36. Устройство по п.35, в котором средство для удержания содержит подложку.

37. Устройство по п.35 или 36, в котором средство для, по меньшей мере, частичного пропускания света содержит оптический слой.

38. Устройство по п.35 или 36, в котором средство для отражения содержит зеркало.

39. Устройство по п.35 или 36, в котором средство для стабилизации содержит элемент, имеющий сегмент стержня, по существу, перпендикулярный средству для отражения, и сегмент головки, соединенный с сегментом стержня.

40. Устройство по п.35 или 36, в котором средство для стабилизации способно поддерживать средство для отражения в, по существу, планарной ориентации, когда средство для отражения находится в первом положении.

41. Устройство по п.35 или 36, в котором средство для стабилизации способно поддерживать средство для отражения, по существу, параллельно средству для удержания, когда средство для отражения находится в первом положении.

42. Устройство по п.35, в котором устройство представляет собой интерферометрический модулятор.

43. Способ уменьшения движения зеркала в устройстве, способ содержит этапы, на которых

обеспечивают устройство содержащее

подложку,

оптический слой, размещенный поверх подложки, причем оптический слой, по меньшей мере, частично пропускает падающий свет,

подвижное зеркало, размещенное поверх подложки и имеющее поверхность, обращенную от подложки, и

неподвижный элемент,

перемещают зеркало между первым положением, отстоящим от оптического слоя на первое расстояние, и вторым положением, отстоящим от оптического слоя на второе расстояние, причем первое расстояние больше второго расстояния, и

приводят в контакт поверхность зеркала с неподвижным элементом, когда зеркало находится в первом положении, тем самым препятствуя движению, по меньшей мере, части зеркала, когда зеркало находится в первом положении.

44. Способ формирования устройства, способ содержит этапы, на которых

обеспечивают подложку,

обеспечивают оптический слой, размещенный поверх подложки, причем оптический слой, по меньшей мере, частично пропускает падающий свет,

обеспечивают подвижное зеркало, размещенное поверх подложки и имеющее поверхность, обращенную от подложки, причем зеркало способно перемещаться между первым положением, отстоящим от оптического слоя на первое расстояние, и вторым положением, отстоящим от оптического слоя на второе расстояние, причем первое расстояние больше второго расстояния, и

обеспечивают неподвижный элемент, контактирующий с поверхностью зеркала, когда зеркало находится в первом положении, в котором неподвижный элемент способен препятствовать движению, по меньшей мере, части зеркала, когда зеркало находится в первом положении.

45. Устройство, сформированное способом по п.44.

46. Элемент для уменьшения движения зеркала в устройстве, элемент содержит

сегмент стержня, способный препятствовать поперечному движению, по меньшей мере, части зеркала в устройстве в направлении, по существу, параллельном зеркалу, и

по меньшей мере, один сегмент головки, способный препятствовать движению, по меньшей мере, части зеркала в устройстве в направлении, в общем случае, перпендикулярном зеркалу.

47. Элемент по п.46, в котором элемент способен препятствовать движению, по меньшей мере, части первого зеркала первого устройства и препятствовать движению, по меньшей мере, части второго зеркала второго устройства.

48. Элемент по п.46, в котором устройство представляет собой интерферометрический модулятор.

49. Элемент для уменьшения движения зеркала в устройстве, элемент содержит

средство для воспрепятствования поперечному движению, по меньшей мере, части зеркала в направлении, по существу, параллельном зеркалу, и

средство для воспрепятствования движению, по меньшей мере, части зеркала в направлении, в общем случае, перпендикулярном зеркалу.

50. Элемент по п.49, в котором средство для воспрепятствования поперечному движению, по меньшей мере, части зеркала содержит сегмент стержня.

51. Элемент по п.49 или 50, в котором средство для воспрепятствования движению, по меньшей мере, части зеркала в направлении, в общем случае, перпендикулярном зеркалу содержит, по меньшей мере, один сегмент головки.

52. Элемент по п.49, в котором устройство представляет собой интерферометрический модулятор.

53. Способ уменьшения движения зеркала в устройстве, способ содержит этапы, на которых

обеспечивают устройство, содержащее неподвижный элемент, содержащий сегмент стержня, способный препятствовать поперечному движению, по меньшей мере, части зеркала в направлении, по существу, параллельном зеркалу, причем неподвижный элемент дополнительно содержит, по меньшей мере, один сегмент головки, способный препятствовать движению, по меньшей мере, части зеркала в направлении, в общем случае, перпендикулярном зеркалу, и

приводят в контакт поверхность зеркала с неподвижным элементом, когда зеркало находится в первом положении, тем самым препятствуя движению, по меньшей мере, части зеркала, когда зеркало находится в первом положении.

54. Способ формирования неподвижного элемента, способного препятствовать движению подвижного зеркала устройства, способ содержит этапы, на которых

обеспечивают устройство, содержащее подвижное зеркало,

формируют сегмент стержня, способный препятствовать поперечному движению, по меньшей мере, части зеркала в направлении, по существу, параллельном зеркалу, и

формируют, по меньшей мере, один сегмент головки, способный препятствовать движению, по меньшей мере, части зеркала в направлении, в общем случае, перпендикулярном зеркалу.

55. Неподвижный элемент, сформированный способом по п.54.