Устройство со светопоглощающей маской и способ его изготовления - RU2005102486A

Реферат

1. Способ изготовления оптического устройства, содержащего по меньшей мере один активный оптический компонент, сформированный на прозрачной подложке, включающий в себя: определение области упомянутой подложки, которая должна быть светопоглощающей, причем упомянутая определенная область смещена вбок от упомянутого по меньшей мере одного активного оптического компонента; и изготовление светопоглощающей маски на упомянутой определенной области перед изготовлением упомянутого по меньшей мере одного активного оптического компонента.

2. Способ по п.1, в котором упомянутый активный оптический компонент содержит пиксель, причем упомянутая светопоглощающая область представляет собой область, ограничивающую этот пиксель.

3. Способ по п.2, в котором упомянутое изготовление включает в себя нанесение первого светоотражающего слоя на упомянутую подложку, нанесение не поглощающего свет диэлектрического слоя на упомянутый первый светоотражающий слой; и нанесение второго светоотражающего слоя на упомянутый не поглощающей свет диэлектрический слой.

4. Способ по п.3, в котором упомянутые первый и второй светоотражающие слои содержат материалы, которые являются металлическими.

5. Способ по п.4, в котором упомянутый не поглощающий свет диэлектрический слой содержит оксидный слой.

6. Способ по п.2, в котором упомянутый пиксель образован интерференционным модулятором.

7. Способ по п.1, в котором упомянутая светопоглощающая маска содержит органический материал.

8. Способ по п.7, в котором упомянутый органический материал содержит фотоопределяемый черный полимер.

9. Оптическое устройство, содержащее: подложку; и первый и второй оптические компоненты, сформированные на упомянутой подложке, при этом упомянутый первый оптический компонент имеет два режима, в каждом из которых производится разный оптический отклик на падающий на него свет, и при этом упомянутый второй оптический компонент поглощает свет и сформирован на упомянутой подложке до того, как сформирован упомянутый первый оптический компонент.

10. Устройство по п.9, в котором упомянутый первый оптический компонент содержит интерференционный модулятор.

11. Устройство по п.9, в котором упомянутый второй оптический компонент сформирован вокруг упомянутого интерференционного модулятора.

12. Устройство по п.9, в котором упомянутый второй оптический компонент содержит органический материал.

13. Устройство по п.9, в котором второй оптический компонент содержит стопку пленок.

14. Устройство по п.13, в котором упомянутая стопка пленок содержит не поглощающий свет диэлектрический материал, проложенный между двумя слоями хрома.

15. Способ микрообработки оптического устройства, включающий в себя: формирование статического оптического компонента на подложке, при этом упомянутый статический оптический компонент поглощает свет; и формирование динамического оптического компонента, примыкающего к упомянутому статическому оптическому компоненту, при этом упомянутый динамический оптический компонент имеет приводимое в движение и не приводимое в движение состояние, каждое из которых имеет характерный оптический отклик на падающий свет.

16. Способ по п.15, в котором упомянутый динамический оптический компонент содержит интерференционный модулятор.

17. Способ по п.15, в котором упомянутый статический оптический компонент содержит стопку пленок.

18. Способ по п.17, в котором упомянутая стопка пленок содержит не поглощающий свет диэлектрический материал, проложенный между двумя светоотражающими материалами.

19. Способ по п.15, в котором упомянутый статический оптический компонент образует механическую опору для участков упомянутого динамического оптического компонента.

20. Оптическое устройство, содержащее: подложку; статический оптический компонент на упомянутой подложке, причем упомянутый статический оптический компонент поглощает свет; и динамический оптический компонент, примыкающий к упомянутому статическому оптическому компоненту, причем упомянутый динамический оптический компонент имеет приводимое в движение и не приводимое в движение состояние, причем каждое состояние имеет характерный оптический отклик на падающий свет.

21. Устройство по п.20, в котором упомянутый динамический оптический компонент содержит интерференционный модулятор.

22. Устройство по п.19, в котором упомянутый статический оптический компонент содержит стопку пленок.

23. Устройство по п.22, в котором упомянутая стопка пленок содержит не поглощающий свет диэлектрический материал, проложенный между двумя светоотражающими материалами.

24. Устройство по п.19, в котором упомянутый статический оптический компонент образует механическую опору для участков упомянутого динамического оптического компонента.