Интерферометрический модулятор в режиме пропускания - RU2010134759A

Реферат

1. Микромеханическое устройство пропускающего типа, содержащее ! подложку, ! подвижную перегородку, расположенную на первой стороне подложки, которая содержит частично отражающее зеркало, и ! заднюю подсветку, расположенную на второй стороне подложки и выполненную с возможностью излучения света, падающего на вторую сторону подложки, ! причем подвижная перегородка выполнена с возможностью перемещения из первого положения во второе положение, ! при этом в первом положении подвижной перегородки свет заданного цвета проходит через подвижную перегородку от подложки, а ! во втором положении подвижной перегородки по существу весь свет, проходящий через подложку, задерживается. ! 2. Микромеханическое устройство по п.1, в котором во втором положении подвижной перегородки задерживается по меньшей мере 90% света, падающего на вторую сторону подложки. ! 3. Микромеханическое устройство по п.2, в котором во втором положении подвижной перегородки задерживается по меньшей мере 95% света, падающего на вторую сторону подложки. ! 4. Микромеханическое устройство по п.3, в котором во втором положении подвижной перегородки задерживается по меньшей мере 98% света, падающего на вторую сторону подложки. ! 5. Микромеханическое устройство по п.4, в котором во втором положении подвижной перегородки задерживается по меньшей мере 99% света, падающего на вторую сторону подложки. ! 6. Микромеханическое устройство по п.5, в котором подвижная перегородка во втором положении определяет по меньшей мере частично оптический интерференционный резонатор, выполненный с возможностью пропускания света с заданными длинами волн, причем подвижная перегород