Сканирующий микроскоп и способ формирования изображения образца - RU2010130544A

Реферат

1. Способ формирования изображения образца (26) сканирующим микроскопом, содержащий этапы, на которых: ! инициируют фазу экспонирования детектора (34); ! генерируют оптическое изображение образца на первой чувствительной зоне детекторе; ! вызывают смещение микроскопом оптического изображения так, что это оптическое изображение облучает вторую чувствительную зону детектора, отличную от первой чувствительной зоны, ! завершают фазу экспонирования. ! 2. Способ по п.1, в котором этап смещения оптического изображения содержит этап, на котором: ! смещают оптическое изображение на детекторе по прямой линии, или по дуге окружности, или по замкнутой линии. !3. Способ по п.1, в котором этап смещения оптического изображения содержит этап, на котором: ! двигают зеркало (40), расположенное на оптическом пути от образца (26) до детектора (34). ! 4. Способ по п.1, в котором этап генерирования оптического изображения содержит этап, на котором: ! одновременно генерируют первое световое пятно (1) и второе световое пятно (2) в образце (26); ! и в котором этап смещения оптического изображения дополнительно отличается тем, что первое световое пятно генерирует первый след (71) на детекторе (34), и второе световое пятно генерирует второй след (72) на детекторе (34), так что след первого светового пятна и след второго светового пятна не пересекаются. ! 5. Способ по п.1, в котором этап генерирования оптического изображения содержит этап, на котором: ! освещают образец (26), используя импульсы света. ! 6. Способ по п.1, дополнительно содержащий этапы, на которых записывают и анализируют оптические изображения, генерируемые в течение фазы экспонирования. ! 7. Система форм�