Способ откачки в насосной системе и система вакуумных насосов - RU2016142607A
Код документа: RU2016142607A
Формула
1. Способ откачки в насосной системе (SP,SPP), содержащей:
- первичный вакуумный насос (3) со смазываемыми лопастями, имеющий отверстие (2) входа газов, соединенное с вакуумной камерой (1), и отверстие (4) выхода газов, сообщающееся с каналом (5) перед выходом (8) газов насосной системы (SP,SPP),
- обратный клапан (6), установленный в канале (5) между отверстием (4) выхода газов и выходом (8) газов, и
- эжектор (7), установленный параллельно с обратным клапаном (6),
при этом способ отличается тем, что
запускают первичный вакуумный насос (3) со смазываемыми лопастями для откачки газов, содержащихся в вакуумной камере (1), через отверстие (4) выхода газов;
одновременно подают рабочую текучую среду в эжектор (7); и
рабочую текучую среду продолжают подавать в эжектор (7) в течение всего времени, пока первичный вакуумный насос (3) со смазываемыми лопастями откачивает газы, содержащиеся в вакуумной камере (1), и/или в течение всего времени, пока вакуумный насос (3) со смазываемыми лопастями поддерживает определенное давление в вакуумной камере (1).
2. Способ откачки по п. 1, отличающийся тем, что выход эжектора (7) соединен с каналом (5) после обратного клапана (6).
3. Способ откачки по п. 1 или 2, отличающийся тем, что параметры эжектора (7) рассчитаны для минимального потребления рабочей текучей среды.
4. Способ откачки по любому из пп. 1-2, отличающийся тем, что номинальный расход эжектора (7) выбирают в зависимости от объема выходного канала (5) первичного вакуумного насоса (3) со смазываемыми лопастями, который ограничен обратным клапаном (6).
5. Способ откачки по п. 4, отличающийся тем, что расход эжектора (7) составляет от 1/500 до 1/20 номинального расхода первичного вакуумного насоса (3) со смазываемыми лопастями.
6. Способ откачки по любому из пп. 1-2, отличающийся тем, что рабочей текучей средой эжектора (7) является сжатый воздух и/или азот.
7. Способ откачки по любому из пп. 1-2, отличающийся тем, что эжектор (7) является многоступенчатым или одноступенчатым.
8. Способ откачки по любому из пп. 1-2, отличающийся тем, что обратный клапан (6) закрывается, когда давление всасывания первичного вакуумного насоса (3) со смазываемыми лопастями находится в пределах от 500 миллибар абсолютного давления до значения конечного разрежения.
9. Способ откачки по любому из п.п. 1-2, отличающийся тем, что эжектор (7) выполнен из материала, обладающего повышенной химической стойкостью к веществам и газам, обычно применяемым в химической промышленности и/или в полупроводниковой промышленности.
10. Способ откачки по любому из пп. 1-2, отличающийся тем, что эжектор (7) встроен в патрон, который содержит обратный клапан (6).
11. Способ откачки по п. 10, отличающийся тем, что патрон установлен в маслоотделителе первичного вакуумного насоса (3) со смазываемыми лопастями.
12. Способ откачки по любому из пп. 1-2, отличающийся тем, что поток газов при давлении, необходимом для работы эжектора (7), обеспечивается компрессором (10).
13. Способ откачки по п. 12, отличающийся тем, что компрессор (10) приводится во вращение первичным вакуумным насосом (3) со смазываемыми лопастями.
14. Способ откачки по п. 12, отличающийся тем, что компрессор (10) вращается автономно, независимо от первичного вакуумного насоса (3) со смазываемыми лопастями.
15. Способ откачки по п. 12, отличающийся тем, что компрессор (10) засасывает атмосферный воздух или газы в канале (8) выхода газов после обратного клапана (6).
16. Способ откачки по любому из пп. 1-2, отличающийся тем, что по меньшей мере один рабочий параметр измеряют и используют для запуска или остановки эжектора (7).
17. Способ откачки по п. 16, отличающийся тем, что упомянутым по меньшей мере одним рабочим параметром является ток двигателя первичного вакуумного насоса 3 со смазываемыми лопастями, давление газов в объеме выходного канала первичного вакуумного насоса со смазываемыми лопастями, ограниченном обратным клапаном 6, температура газов в объеме выходного канала первичного вакуумного насоса со смазываемыми лопастями, ограниченном обратным клапаном 6, или комбинация этих параметров.
18. Насосная система (SP,SPP), содержащая:
- первичный вакуумный насос (3) со смазываемыми лопастями, имеющий отверстие (2) входа газов, соединенное с вакуумной камерой (1), и отверстие (4) выхода газов, сообщающееся с каналом (5) перед выходом (8) газов системы (SP) вакуумных насосов,
- обратный клапан (6), установленный в канале (5) между отверстием (4) выхода газов и выходом (8) газов, и
- эжектор (7), установленный параллельно с обратным клапаном (6),
при этом насосная система (SP,SPP) отличается тем, что
эжектор (7) выполнен с возможностью получения питания рабочей текучей средой в течение всего времени, пока первичный вакуумный насос (3) со смазываемыми лопастями откачивает газы, содержащиеся в вакуумной камере (1), и/или в течение всего времени, пока вакуумный насос (3) со смазываемыми лопастями поддерживает определенное давление в вакуумной камере (1).
19. Насосная система по п. 18, отличающаяся тем, что выход эжектора (7) соединен с каналом (5) после обратного клапана (6).
20. Насосная система по п. 18 или 19, отличающаяся тем, что параметры эжектора (7) рассчитаны для минимального потребления рабочей текучей среды.
21. Насосная система по любому из пп. 18-19, отличающаяся тем, что номинальный расход эжектора (7) выбирают в зависимости от объема выходного канала (5) первичного вакуумного насоса (3) со смазываемыми лопастями, который ограничен обратным клапаном (6).
22. Насосная система по п. 21, отличающаяся тем, что расход эжектора (7) составляет от 1/500 до 1/20 номинального расхода первичного вакуумного насоса (3) со смазываемыми лопастями.
23. Насосная система по любому из пп. 18-19, отличающаяся тем, что рабочей текучей средой эжектора (7) является сжатый воздух и/или азот.
24. Насосная система по любому из пп. 18-19, отличающаяся тем, что эжектор (7) является многоступенчатым или одноступенчатым.
25. Насосная система по любому из пп. 18-19, отличающаяся тем, что обратный клапан (6) закрывается, когда давление всасывания первичного вакуумного насоса (3) со смазываемыми лопастями находится в пределах от 500 миллибар абсолютного давления до значения конечного разрежения.
26. Насосная система по любому из пп. 18-19, отличающаяся тем, что эжектор (7) выполнен из материала, обладающего повышенной химической стойкостью к веществам и газам, обычно применяемым в химической промышленности и/или в полупроводниковой промышленности.
27. Насосная система по любому из пп. 18-19, отличающаяся тем, что эжектор (7) встроен в патрон, который содержит обратный клапан (6).
28. Насосная система по п. 27, отличающаяся тем, что патрон установлен в маслоотделителе первичного вакуумного насоса со смазываемыми лопастями.
29. Насосная система по любому из пп. 18-19, отличающаяся тем, что содержит компрессор (10), который обеспечивает поток газов при давлении, необходимом для работы эжектора (7).
30. Насосная система по п. 18, отличающаяся тем, что компрессор (10) приводится во вращение первичным вакуумным насосом (3) со смазываемыми лопастями.
31. Насосная система по п. 29, отличающаяся тем, что компрессор (10) вращается автономно, независимо от первичного вакуумного насоса (3) со смазываемыми лопастями.
32. Насосная система по п. 29, отличающаяся тем, что компрессор (10) засасывает атмосферный воздух или газы в канале (8) выхода газов после обратного клапана (6).
33. Насосная система по любому из пп. 18-19, отличающаяся тем, что содержит по меньшей мере один датчик (11,12,13) для измерения по меньшей мере одного рабочего параметра и для его использования с целью запуска или остановки эжектора (7).
34. Насосная система по п. 34, отличающаяся тем, что упомянутым по меньшей мере одним рабочим параметром является ток двигателя первичного вакуумного насоса 3 со смазываемыми лопастями, давление газов в объеме выходного канала первичного вакуумного насоса со смазываемыми лопастями, ограниченном обратным клапаном 6, температура газов в объеме выходного канала первичного вакуумного насоса со смазываемыми лопастями, ограниченном обратным клапаном 6, или комбинация этих параметров.
