Система создания вакуума - RU2012153250A

Реферат

1. Система создания вакуума, предназначенная для откачки вакуумной камеры, причем система содержит: вакуумный насос и множество линий предварительной откачки, предназначенных для подачи газа в вакуумный насос, причем на первом этапе откачки камеры низкого вакуума первое устройство линии предварительной откачки может быть подключено для подачи газа в вакуумный насос, а на втором этапе откачки камеры более высокого вакуума второе устройство линии предварительной откачки, содержащее одну или более упомянутых линий предварительной откачки, может быть подключено для подачи газа в вакуумный насос, причем второе устройство линии предварительной откачки имеет полную площадь поперечного сечения для подачи жидкости, которая больше, чем полная площадь поперечного сечения первого устройства линии предварительной откачки.2. Система создания вакуума по п.1, в которой, по меньшей мере, одну из упомянутых линий предварительной откачки во втором устройстве линии предварительной откачки отключают от первого устройства линии предварительной откачки во время упомянутого этапа откачки камеры относительно низкого вакуума.3. Система создания вакуума по п.1 или 2, в которой упомянутое второе устройство линии предварительной откачки содержит одну или более упомянутых линий предварительной откачки упомянутого первого устройства линии предварительной откачки.4. Система создания вакуума по п.3, в которой упомянутое второе устройство линии предварительной откачки содержит упомянутое множество линий предварительной откачки.5. Система создания вакуума по п. 1, в которой упомянутое первое устройство линии предварительной откач