Жидкостный насос, выполненный в виде мэмс, с встроенным датчиком давления для обнаружения нарушений функционирования - RU2011118233A

Реферат

1. Насосное устройство, содержащее насос (1), имеющий- камеру (11), имеющую переменный объем,- вход (2), соединенный с камерой (11) насоса и содержащий клапан,- выход (5), соединенный с камерой (11) насоса и содержащий клапан,- привод, выполненный с возможностью изменять объем камеры насоса,- путь для текучей среды, включающий вход (2), камеру (11) насоса, выход (5) и выходную линию (7), расположенную за выходным клапаном,- датчик (4) давления для измерения давления между клапанами указанного пути,- обрабатывающее средство для обработки данных о давлении, полученных от датчика (4) давления.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что датчик (4) давления конструктивно выполнен с возможностью использования для обнаружения окклюзии в выходной линии (7).3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что насос представляет собой микронасос с объемом камеры (11), составляющим 10 нл-100 мкл.4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно содержит функционально сопряженную с указанным приводом мембрану (3) насоса, которая выполнена с возможностью изменять объем камеры (11) насоса, а по меньшей мере один из указанных клапанов представляет собой запорный клапан.5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что по меньшей мере один клапан содержит средство для предварительной настройки точки срабатывания, которое активируется во время осуществления по меньшей мере части рабочего цикла.6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что по меньшей мере для одного клапана предусмотрена возможность дополнительного внешнего управления.7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что датчик (4) давления содержит гибкую мембрану.8. Устройство по п.4, отличающееся тем, что мембрана (3) насоса изготовле�