Система откачки для создания вакуума и способ откачки при помощи этой системы откачки - RU2017114342A
Код документа: RU2017114342A
Формула
1. Система (SP) откачки для создания вакуума, содержащая главный вакуумный насос, который является кулачковым насосом (3), содержащим всасывающий вход (2) газов, соединенный с вакуумной камерой (1), и выход (4) для выдува газов, сообщающийся с каналом (5) удаления газов в направлении выхода (8) для выпуска газов из системы откачки,
при этом система откачки отличается тем, что содержит
- обратный клапан (6), расположенный между выходом (4) для выдува газов и выходом (8) для выпуска газов, и
- вспомогательный вакуумный насос (7), установленный параллельно с обратным клапаном.
2. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос выбран из группы, в которую входят кулачковый насос, безмасляный винтовой насос, многоступенчатый насос Рутса, диафрагменный насос, безмасляный лопастной насос, лопастной насос смазываемого типа и газовый эжектор.
3. Система откачки по любому из пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является безмасляным винтовым насосом.
4. Система откачки по любому из пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является кулачковым насосом.
5. Система откачки по любому из пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является многоступенчатым насосом Рутса.
6. Система откачки по любому из пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является диафрагменным насосом.
7. Система откачки по любому из пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является безмасляным лопастным насосом.
8. Система откачки по любому из пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является лопастным насосом смазываемого типа.
9. Система откачки по любому из пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является эжектором.
10. Система откачки по п. 9, отличающаяся тем, что рабочей текучей средой эжектора (7) является сжатый воздух и/или азот.
11. Система откачки по п. 9, отличающаяся тем, что поток газа под давлением, необходимый для работы эжектора (7), поступает из компрессора.
12. Система откачки по п. 11, отличающаяся тем, что компрессор выполнен с возможностью приведения в действие главным насосом (3).
13. Система откачки по п. 11, отличающаяся тем, что компрессор приводится в действие автономно, независимо от главного насоса.
14. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) выполнен с возможностью производить откачку в течение всего периода откачки главным вакуумным насосом (3) газов, содержащихся в вакуумной камере (1), и/или в течение всего периода поддержания главным вакуумным насосом (3) заданного давления в вакуумной камере (1).
15. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) содержит выход для выдува, который соединен по потоку ниже обратного клапана (6) с каналом (5) удаления газов.
16. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что номинальная производительность вспомогательного вакуумного насоса (7) задана в зависимости от объема канала (5) удаления газов, занимаемого между главным вакуумным насосом (3) и обратным клапаном (6).
17. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что номинальная производительность вспомогательного вакуумного насоса (7) составляет от 1/500 до 1/5 номинального расхода главного вакуумного насоса (3).
18. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является одноступенчатым или многоступенчатым.
19. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что обратный клапан (6) выполнен с возможностью закрытия, когда давление на всасывающем входе главного вакуумного насоса (3) становится ниже 500 абсолютных миллибар.
20. Система откачки по п. 1, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) изготовлен из материалов, обладающих высокой химической стойкостью к веществам и газам, обычно используемым в промышленности полупроводников.
21. Способ откачки при помощи системы (SP) откачки по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что:
- запускают главный вакуумный насос (3)для откачивания газов, содержащихся в вакуумной камере (1), и выдува этих газов через его выход (4) для выдува газов;
- одновременно запускают вспомогательный вакуумный насос (7); и
- вспомогательный вакуумный насос (7) продолжает откачку в течение всего периода откачивания главным вакуумным насосом (3) газов, содержащихся в вакуумной камере (1), и/или в течение всего периода поддерживания главным вакуумным насосом (3) заданного давления в вакуумной камере (1).
22. Способ откачки по п. 21, отличающийся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) производит откачку с производительностью примерно от 1/500 до 1/20 номинальной производительности главного вакуумного насоса (3).
23. Способ откачки по любому из пп. 21 и 22, отличающийся тем, что обратный клапан (6) закрывается, когда давление на всасывающем входе главного вакуумного насоса (3) становится ниже 500 абсолютных миллибар.
24. Способ откачки по любому из пп. 21 и 22, отличающийся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является эжектором.
25. Способ откачки по п. 24, отличающийся тем, что поток газа под давлением, необходимый для работы эжектора (7), поступает из компрессора.
26. Способ откачки по п. 25, отличающийся тем, что компрессор приводится в действие главным насосом (3).
27. Способ откачки по п. 25, отличающийся тем, что компрессор приводится в действие автономно, независимо от главного насоса.
