Геттерный насос - RU2015118130A

Реферат

1. Геттерный насос, содержащий корпус (21, 21′; 31), имеющий форму тела вращения с осью (24) вращения, и множество газопоглощающих картриджей (10; 22, 23; 32, 33, 34; 320, 330, 340), установленных внутри корпуса (21, 21′; 31), причем каждый картридж содержит прямолинейное центральное основание (11; 221, 231) и пространственно разнесенные газопоглощающие элементы (12, 12′,…,12"), установленные на прямолинейном центральном основании (11; 221, 231), при этом плоскость, включающая в себя прямолинейное центральное основание (11; 221, 231) и параллельная оси (24) вращения, определяет плоскость ориентации газопоглощающего картриджа, а плоскость, ортогональная оси (24) вращения и пересекающая середину прямолинейного центрального основания (11; 221, 231), определяет плоскость (222, 232) позиционирования газопоглощающего картриджа, характеризующийся тем, что углы (α, α′) между упомянутыми плоскостями (222, 232) позиционирования и прямолинейными центральными основаниями (11; 221, 231) менее или равны 30°, предпочтительно, менее или равны 10°.2. Геттерный насос по п. 1, в котором тело вращения выбрано из группы, содержащей цилиндр, конус и усеченный конус.3. Геттерный насос по любому из пп. 1 или 2, в котором пространственно разнесенные газопоглощающие элементы (12, 12′, 12′′) изготовлены из металлов или сплавов, содержащих по меньшей мере 30% одного или более таких материалов, как титан, цирконий, иттрий.4. Геттерный насос по п. 1, в котором прямолинейное центральное основание (11; 221, 231) имеет длину 4-30 см и предпочтительно содержит от 2 до 7 газопоглощающих элементов (12, 12′, 12′′) на см.5. Геттерный насос по п. 1, в котором корпус (31) закрыт на одном конце основанием, а на противоположном конце - вакуумным фланцем.6. Геттерный насос по п. 1, в котором корпус (21, 21′; 31) имеет открытый конец.7. Геттерный насос по п. 1, в котором расстояние между плоскостями