Спеченные непористые катодные электроды и содержащие их ионно-распылительные вакуумные насосы - RU2018133004A
Код документа: RU2018133004A
Формула
1. Непористый катод (22, 22'), имеющий среднюю атомную массу W, причем упомянутый катод пригоден для использования в качестве электрода в ионно-распылительном насосе (3), и содержащий в своем химическом составе спеченную объемную смесь двух разных металлических элементов:
i) M1, имеющего атомную массу W1, в количестве q1, выраженном как атомный процент суммарного количества атомов Q катода, и
ii) M2, имеющего атомную массу W2, в количестве q2, выраженном как атомный процент суммарного количества атомов Q катода,
причем упомянутый химический состав содержит дополнительные металлические элементы, отличные от M1 и M2 в совокупном количестве, более низком, чем 3% атомов относительно суммарного количества атомов Q
причем M1 и M2 оба выбраны из титана, тантала, циркония, ниобия, гафния, редкоземельных элементов, никеля или молибдена и q1, q2, W1 и W2 выбираются таким образом, что атомная масса катода, заданная как W=W1*q1+W2*q2, заключена в пределах от 80 до 160 а.е.м.
2. Катод (22, 22') по п. 1, в котором его средняя атомная масса W заключена в пределах от 100 до 160 а.е.м.
3. Катод (22, 22') по п. 1, в котором упомянутые металлические элементы, отличные от M1 и M2, выбираются из алюминия, меди, титана, тантала, циркония, ниобия, молибдена, никеля, редкоземельных элементов, гафния, железа, кобальта, ванадия.
4. Катод (22, 22') по п. 1, в котором упомянутые два металлических элемента M1 и M2 оба выбираются из титана, тантала и циркония.
5. Ионно-распылительная насосная система (3), содержащая в качестве активных нагнетательных элементов, по меньшей мере, пару катодов (22, 22') по любому из предыдущих пунктов.
