Управление множеством катушек-свечей через единственный каскад усиления мощности - RU2009136348A

Реферат

1. Устройство генерирования плазмы, содержащее: ! цепь (2) питания, содержащую выключатель (М), управляемый сигналом (V1) управления для подачи промежуточного напряжения (Vinter) на выход цепи питания на частоте, определяемой сигналом управления, ! множество катушек-свечей (ВВ1, ВВ2, ВВ3, ВВ4), генерирующих плазму, установленных параллельно на выходе цепи питания через соединители (20), при этом каждый соединитель (20) выполнен с возможностью разъемного соединения с соответствующей катушкой-свечой и содержит средства (23), выполненные с возможностью смещения резонансной частоты указанной катушки-свечи таким образом, чтобы каждая катушка-свеча имела свою отдельную резонансную частоту, ! устройство (5) управления цепью питания, определяющее частоту сигнала управления среди резонансных частот катушек-свечей таким образом, чтобы селективно управлять катушками-свечами в зависимости от используемой частоты управления. ! 2. Устройство по п.1, в котором каждая катушка-свеча, генерирующая плазму, содержит резонатор (1), имеющий частоту, превышающую 1 МГц, и содержащий два электрода, при этом резонатор выполнен с возможностью генерирования плазмы между двумя электродами, когда на выход цепи питания подается высокое напряжение определенного уровня. ! 3. Устройство по п.1 или 2, в котором соединители (20) соединены между собой при помощи одной соединительной детали (26). ! 4. Устройство по п.3, в котором соединительная деталь содержит средства (27) предотвращения неверного соединения, позволяющие крепить ее на множестве катушек-свечей единственным образом. ! 5. Устройство по п.1, в котором средства (23), выполненные с возможностью смещения резонан�