Зонд для сканирующего зондового микроскопа и способ его изготовления - RU2006101285A

Реферат

1. Зонд для сканирующего зондового микроскопа, содержащий

(a) основание зонда для микроскопа; и

(b) опорный кантилевер, продолжающийся горизонтально от основания, при этом верхний конец опорного кантилевера обработан так, чтобы иметь наклонную поверхность так, чтобы не препятствовать оптическому наблюдению измерительного кантилевера,

в котором измерительный кантилевер обеспечивается на верхнем конце опорного кантилевера, при этом измерительный кантилевер имеет длину меньшую чем или равную 20 мкм и толщину меньшую чем или равную 1 мкм.

2. Зонд для сканирующего зондового микроскопа по п.1, в котором основание и опорный кантилевер сформированы из монокристаллического кремния, и измерительный кантилевер образован из монокристаллической тонкой кремниевой пленки, при этом измерительный кантилевер соединен с верхним концом опорного кантилевера.

3. Зонд для сканирующего зондового микроскопа по п.1, в котором длина измерительного кантилевера точно определена уменьшением толщины измерительного кантилевера до меньшего размера, чем толщина связывающего участка между измерительным кантилевером и опорным кантилевером.

4. Зонд для сканирующего зондового микроскопа по п.1, в котором длина измерительного кантилевера точно определена уменьшением ширины измерительного кантилевера до меньшего размера, чем ширина соединительного участка между измерительным кантилевером и опорным кантилевером.

5. Способ изготовления зонда для сканирующего зондового микроскопа по п.2, содержащий этапы изготовления основания и опорного кантилевера обработкой монокристаллической кремниевой подложки; изготовления измерительного кантилевера обработкой монокристаллической тонкой кремниевой пленки из диэлектрической подложки со слоем кремния, отличающейся от монокристаллической кремниевой подложки; связывания измерительного кантилевера с опорным кантилевером; и удаления полупроводниковой пластины и углубленной оксидной пленки из диэлектрической подложки со слоем кремния.

6. Способ изготовления зонда для сканирующего зондового микроскопа согласно п.5, далее содержащий этапы формирования наконечника зонда на верхнем конце измерительного кантилевера посредством влажного травления.