Устройство для прецизионных перемещений - RU2004138236A

Реферат

1. Устройство для прецизионных перемещений, содержащее пластину из пьезоэлектрического материала с малым гистерезисом с нанесенными на две ее противоположные стороны электродами, подключенными к источнику напряжения.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что пластина выполнена монокристаллической.

3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что пластина выполнена с ориентацией кристаллографических осей, обеспечивающей при подаче напряжения на электроды изменение размеров пластины в направлении, параллельном плоскости электродов.

4. Устройство по п.2, отличающееся тем, что пластина выполнена с ориентацией кристаллографических осей, обеспечивающей при подаче напряжения на электроды изменение размеров пластины в направлении, перпендикулярном плоскости электродов.

5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что электроды выполнены из материала, стойкого к окислению.

6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что на поверхности одного из электродов нанесена по крайней мере одна метка.

7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что на верхнем электроде нанесен защитный слой.

8. Устройство по п.7, отличающееся тем, что защитный слой выполнен из алмазоподобной пленки.

9. Устройство по п.7, отличающееся тем, что защитный слой выполнен из сапфира.

10. Устройство по п.1, отличающееся тем, что на поверхности защитного слоя нанесена по крайней мере одна метка.

11. Устройство по п.7, отличающееся тем, что на защитный слой нанесен слой электропроводного материала, соединенный с источником напряжения, и на его поверхности нанесена по крайней мере одна метка.

12. Устройство по пп.6, 10 и 11, отличающееся тем, что метка выполнена размером от одного атома вещества до нескольких сот нанометров.

13. Устройство по п.1, отличающееся тем, что электроды подключены к источнику импульсного напряжения.

14. Устройство по п.1, отличающееся тем, что электроды подключены к источнику постоянного напряжения.