Способ и устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера - RU2005120242A

Реферат

1. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором множество кантилеверов, имплантированных на внутренней стороне спирального основания и имеющих различные собственные частоты, освещают общим лазерным возбуждающим пятном с тем, чтобы одновременно возбудить собственные колебания множества кантилеверов постоянным световым возбуждением для измерения колебаний.

2. Устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера, содержащее

(а) множество кантилеверов, имплантированных на внутренней стороне спирального основания и имеющих различные собственные частоты;

(b) средство для одновременного возбуждения собственных колебаний кантилеверов постоянным световым возбуждением;

(с) лазерный доплеровский измеритель для измерения колебаний.

3. Устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера, содержащее

(а) множество кантилеверов, имплантированных на внутренней стороне спирального основания и имеющих различные собственные частоты;

(b) средство для одновременного возбуждения собственных колебаний кантилеверов с помощью постоянного светового возбуждения; и

(с) гомодинный интерферометр для измерения колебаний.

4. Устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера по п.2 или 3, в котором кантилеверы расположены по радиусам в группы, так что кантилеверы могут быть облучены общим возбуждающим пятном.

5. Микроскоп со сканирующим зондом с использованием устройства для измерения частоты колебаний мультикантилевера по п.2 или 3 для самовозбуждения собственных частот кантилеверов, для обнаружения взаимодействия между образцом и зондом на кончике каждого кантилевера в виде изменения частоты самовозбуждающегося колебания, амплитуды самовозбуждающегося колебания или фазы самовозбуждающегося колебания.

6. Устройство обнаружения массы/материала с использованием устройства для измерения частоты колебаний мультикантилевера по п.2 или 3 для самовозбуждения собственных частот кантилеверов, для обнаружения изменения массы, присоединенной к зонду на одном кончике каждого кантилевера в виде изменения частоты самовозбуждающегося колебания, амплитуды самовозбуждающегося колебания или фазы самовозбуждающегося колебания.

7. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором размещают множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, и в котором собственные колебания множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, последовательно возбуждают модулированным возбуждением в результате облучения кантилеверов лазерным пятном, для измерения колебания лазерным доплеровским измерителем, и управляют положением лазерного пятна и сканированием частоты в соответствии с градиентами частот множества кантилеверов так, что обнаруживают материал вместе с кантилеверами.

8. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором размещают множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, и в котором собственные колебания множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, последовательно возбуждают с помощью модулированного возбуждения в результате облучения кантилеверов лазерным пятном, для измерения колебания гомодинным интерферометром, и управляют положением лазерного пятна и сканированием частоты в соответствии с градиентами частот множества кантилеверов так, что обнаруживают материал вместе с кантилеверами.

9. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, имплантируют по радиусам в имеющее форму островка основание и в котором собственные колебания множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, последовательно возбуждают модулированным возбуждением в результате облучения кантилеверов лазерным пятном, для измерения колебания лазерным доплеровским измерителем, и управляют положением лазерного пятна и сканированием частоты в соответствии с градиентами частот множества кантилеверов так, что обнаруживают материал вместе с кантилеверами.

10. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, имплантируют по радиусам в имеющее форму островка основание и в котором собственные колебания множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, последовательно возбуждают с помощью модулированного возбуждения в результате облучения кантилеверов лазерным пятном, для измерения колебания гомодинным интерферометром, и управляют положением лазерного пятна и сканированием частоты в соответствии с градиентами частот множества кантилеверов так, что обнаруживают материал вместе с кантилеверами.

11. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, имплантируют на внутренней стороне спирального основания и в котором собственные колебания множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, последовательно возбуждают с помощью модулированного возбуждения в результате облучения кантилеверов лазерным пятном, для измерения колебания лазерным доплеровским измерителем, и управляют положением лазерного пятна и сканированием частоты в соответствии с градиентами частот множества кантилеверов так, что обнаруживают материал вместе с кантилеверами.

12. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, имплантируют на внутренней стороне спирального основания и в котором собственные колебания множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, последовательно возбуждают модулированным возбуждением в результате облучения кантилеверов лазерным пятном, для измерения колебания гомодинным интерферометром, и управляют положением лазерного пятна и сканированием частоты в соответствии с градиентами частот множества кантилеверов так, что обнаруживают материал вместе с кантилеверами.

13. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, имплантируют на внутренней стороне спирального основания и в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, освещают общим лазерным возбуждающим пятном с тем, чтобы одновременно возбудить собственные колебания множества кантилеверов постоянным световым возбуждением для измерения колебания лазерным доплеровским измерителем.

14. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, имплантируют на внутренней стороне спирального основания и в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, освещают общим лазерным возбуждающим пятном с тем, чтобы одновременно возбудить собственные колебания множества кантилеверов постоянным световым возбуждением для измерения колебания гомодинным интерферометром.

15. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера по любому одному из пп.7-12, в котором модулированное возбуждение представляет собой модулированное оптическое возбуждение.

16. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера по любому одному из пп.7-12, в котором модулированное возбуждение представляет собой модулированное электрическое возбуждение.

17. Устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера, содержащее

(а) множество кантилеверов, имплантированных по радиусам в имеющее форму островка основание и имеющих различные собственные частоты;

(b) средство для одновременного возбуждения собственных колебаний множества кантилеверов постоянным световым возбуждением в результате освещения множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, общим лазерным возбуждающим пятном; и

(с) лазерный доплеровский измеритель для измерения возбуждений.

18. Устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера, содержащее

(а) множество кантилеверов, имплантированных по радиусам в имеющее форму островка основание и имеющих различные собственные частоты;

(b) средство для одновременного возбуждения собственных колебаний множества кантилеверов постоянным световым возбуждением в результате освещения множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, общим лазерным возбуждающим пятном; и

(с) гомодинный интерферометр для измерения возбуждений.