Система обнаружения для динамического зонда - RU2011128378A

Реферат

1. Система обнаружения для использования со сканирующим зондовым микроскопом, причем система содержит:источник света, чтобы создать луч для подсветки колебательного зонда, который периодически приближается к поверхности образца, причем зонд содержит кантилевер с основанием и свободными концами, причем свободный конец поддерживает острую иглу;интерферометр, выполненный с возможностью обнаружения разности хода между отраженным от зонда светом и опорным лучом высоты, и вывода сигнала высоты, указывающего эту разность хода; иустройство обработки сигнала, выполненное с возможностью отслеживания сигнала высоты и извлечения данных из положения в пределах каждого цикла колебаний, который удовлетворяет заданным критериям измерения, причем извлеченные данные используются для получения измерения для каждого цикла колебаний, которое указывает высоту зонда.2. Система обнаружения по п.1, причем положение в пределах каждого цикла находится в экстремальной разности хода.3. Система обнаружения по п.1, причем положение в пределах каждого цикла представляет собой минимальную степень изменения разности хода.4. Система обнаружения по пп.1, 2 или 3, причем извлеченные данные используются для построения изображения поверхности образца.5. Система обнаружения по пп.1, 2 или 3, причем измерение указывает на свойства материала образца.6. Система обнаружения по пп.1, 2 или 3, причем частота, с которой дискретизируется сигнал высоты, по меньшей мере в 10 раз выше частоты колебаний зонда.7. Система обнаружения по п.6, причем частота, с которой дискретизируется сигнал высоты, по меньшей мере в 100 раз выше частоты колебаний зонда.8. Система обна�