Способ и устройство использования полуконтактного режима с фиксированным пиком силы для измерения физических свойств образца - RU2013128377A

Реферат

1. Способ работы сканирующего зондового микроскопа (СЗМ), содержащий:генерирование относительного, по существу, периодического перемещения между зондом и образцом;детектирование перемещения зонда;восстановление из продетектированного перемещения зонда, по существу, мгновенной силы между зондом и образцом при взаимодействии зонда и образца;определение интересующей временной зоны, связанной с восстановленной, по существу, мгновенной силой;генерирование сигнала возбуждения между зондом и образцом исинхронное измерение отклика зонда на этапе генерации в интересующей временной зоне в пределах периода взаимодействия между зондом и образцом.2. Способ по п.1, где в качестве интересующей временной зоны используют время контакта (p1-p2).3. Способ по п.1, где в качестве интересующей временной зоны используют либо зону ближайшего взаимодействия при приближении (p2-p4), либо зону ближайшего взаимодействия при удалении острия (p4-p5).4. Способ по п.1, где интересующую временную зону стробируют и в качестве сигнала возбуждения используют один из группы, включающей постоянный сигнал напряжения и синхронно стробированный сигнал напряжения, и в качестве сигнала, связанного с продетектированным перемещением зонда, используют один из группы, включающей сигнал тока и сигнал сопротивления в стробированной интересующей временной зоне.5. Способ по п.1, где интересующую временную зону стробируют и где в качестве сигнала возбуждения используют либо постоянный сигнал тепла, либо синхронно стробированный сигнал тепла, и в качестве сигнала, основанного на продетектриованном перемещении зонда, используют сигнал температуры зонда в строб�