Адаптивный сканирующий зондовый микроскоп - RU2013137810A

Реферат

1. Сканирующий зондовый микроскоп, содержащий:зонд, способный к механической реакции на приводное усилие,генератор сигнала для выработки приводного сигнала, подаваемого на актуатор, генерирующий приводное усилие, при этом приводной сигнал выбран таким, чтобы обеспечить, посредством актуатора, повторяющееся перемещение зонда актуатором к образцу и от него;детекторную систему, выполненную с возможностью вырабатывать сигнал высоты, соответствующий разности хода между световым пучком, отраженным от зонда, и пучком, задающим референтную высоту;аппарат для формирования изображения, способный использовать сигнал высоты для формирования изображения образца, иаппарат для обработки сигнала, способный осуществлять мониторинг зонда при приближении зонда к образцу и детектировать положение поверхности как положение, в котором зонд взаимодействует с образцом, при этом аппарат для обработки сигнала, в качестве реакции на детектирование положения поверхности, инициирует модифицирование приводного сигнала генератором сигнала.2. Зондовый микроскоп по п.1, в котором аппарат для обработки сигнала выполнен с возможностью осуществлять мониторинг сигнала высоты при приближении зонда к образцу и детектировать положение поверхности, при котором зонд взаимодействует с образцом.3. Зондовый микроскоп по п.1, в котором пучком, задающим референтную высоту, является пучок, отраженный от референтной точки, связанной известным образом с положением образца.4. Зондовый микроскоп по п.1, в котором генератор сигнала предназначен для придания зонду осциллирующего движения, при этом генератор сигнала является генератором сигналов сп�