Сканирующий зондовый микроскоп и способ выявления близости его зондов - RU2012102057A

Реферат

1. Сканирующий зондовый микроскоп, имеющий первый зонд и второй зонд, которые оба предназначены для сканирования образца при поддержании постоянного расстояния до поверхности образца, причем сканирующий зондовый микроскоп содержит:a) первый сканер для перемещения первого зонда относительно образца;b) второй сканер для перемещения второго зонда относительно образца;c) вибратор для обеспечения вибрации с определенной частотой или первого зонда, или второго зонда;d) устройство контроля вибраций для контролирования вибрации с определенной частотой первого зонда и второго зонда;e) детектор близости зонда для выявления близости первого зонда и второго зонда друг к другу на основании изменения, по меньшей мере, любой из вибрации первого зонда или вибрации второго зонда; иf) регулятор для регулирования первого сканера и второго сканера на основании результата выявления детектором близости зонда.2. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, в котором:вибратор обеспечивает вибрацию первого зонда; идетектор близости зонда выявляет близость первого зонда и второго зонда друг к другу на основании того, что величина изменения вибрации первого зонда равна пороговому значению или меньше него.3. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1 или 2, в котором:вибратор обеспечивает вибрацию первого зонда; идетектор близости зонда выявляет близость первого зонда и второго зонда друг к другу на основании того, что величина изменения вибрации второго зонда превышает пороговое значение.4. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1 или 2, в котором первый зонд и второй зонд прикреплены к первому резонатору камертонного типа и второму резонатору кам