Способ и устройство устранения залипания электродов в инерциальных микроэлектромеханических системах - RU2013117280A

Реферат

1. Способ устранения залипания электродов в инерциальном микроэлектромеханическом устройстве, содержащем:- подвижную массу (150), подвешенную на каркасе с помощью пружинного устройства (115) и содержащую по меньшей мере один подвижный электрод; и- по меньшей мере один неподвижный электрод, жестко прикрепленный к каркасу, причем каждый неподвижный электрод взаимодействует с одним подвижным электродом, в результате чего формируется пара электродов;причем указанный способ включает- обнаружение по меньшей мере одной пары залипших электродов, для которых слипание характеризуется силой прилипания (F); и- по меньшей мере одну стадию разделения, включающую подачу в течение заданного интервала времени заданного напряжения между электродами по меньшей мере одной пары электродов для создания электростатической силы, которая обеспечивает смещение подвижной массы в направлении действия силы прилипания.2. Способ устранения залипания электродов по п.1, отличающийся тем, что после истечение заданного интервала времени, заданное напряжение выключается в течение интервала времени выключения, так что отношение интервала времени выключения напряжения к времени отклика системы подвижная масса-пружины меньше или равно 10%.3. Машиночитаемый носитель информации для хранения компьютерной программы, содержащей набор команд, которые выполняются компьютером для осуществления способа по меньшей мере по одному из пп.1, 2.4. Устройство устранения залипания электродов, предназначенное для взаимодействия с инерциальным микроэлектромеханическим устройством, содержащим:- подвижную массу (150), подвешенную на каркасе с помощью пружинного �