Способ измерений физических величин пьезорезистивными преобразователями и преобразователь - RU2009147327A

Реферат

1. Способ измерений физических величин пьезорезистивными преобразователями, заключающийся в том, что на преобразователь воздействуют сосредоточенной или распределенной силой, пропорциональной измеряемой величине, деформируют тензорезисторы и регистрируют выходной сигнал с тензосхемы преобразователя, отличающийся тем, что силой воздействуют на поверхности тензорезисторов (хотя бы одного тензорезистора), так что нормальные и/или сдвиговые механические напряжения TZZ, TZX, TZY в деформируемых тензорезисторах (для оси Z, перпендикулярной плоскости пластины, в/на которой сформированы тензорезисторы, и осей Х и Y, лежащих в плоскости пластины) являются определяющими (доминирующими) в изменении сопротивлений тензорезисторов и формировании выходного сигнала, а усилия, прикладываемые к отдельным тензорезисторам, равномерно распределяют по их поверхности (площади). ! 2. Способ измерений физических величин пьезорезистивными преобразователями по п.1, отличающийся тем, что точку приложения силы, воздействующей на группу деформируемых тензорезисторов, смещают относительно области расположения группы деформируемых тензорезисторов, так что на группу деформируемых тензорезисторов действует изгибающий момент, и результат его воздействия является определяющим (доминирующим) в изменении сопротивлений тензорезисторов и формировании выходного сигнала тензосхемы. ! 3. Пьезорезистивный преобразователь, содержащий пластину со сформированными в ней (на ней) тензорезисторами, отличающийся тем, что над поверхностью пластины со стороны тензорезисторов расположена дополнительная структура, соединенная (контактирующая) с по