Устройство, содержащее первую и вторую подложки, способ, включающий применение первой и второй подложек, и установка, содержащая лопатку - RU2013118657A

Реферат

1. Устройство, содержащеепервую подложку с расположенной на ней первой электрической линией ивторую подложку, на которой расположены постоянный магнит и вторая электрическая линия и которая соединена с первой подложкой,причем первая подложка отклоняется от второй подложки при подаче электрического сигнала на первую электрическую линию.2. Устройство по п.1, в котором первая подложка изготовлена из по меньшей мере одного из следующих материалов: (i) никеля, (ii) меди, (iii) железа, (iv) титана, (v) тантала, (vi) вольфрама или (vii) кобальта.3. Устройство по п.1, дополнительно содержащее изолирующий слой между первой подложкой и первой электрической линией.4. Устройство по п.3, в котором изолирующий слой содержит по меньшей мере один из следующих материалов: (i) двуокись кремния, (ii) тетраэтилортосиликатное стекло, (iii) силикатное стекло с осажденным диметилсиланом, (iv) силикатное стекло с осажденным триметилсиланом, (v) силикатное стекло с осажденным метилсиланом, (vi) силикатное стекло, (vii) нитрид кремния, (viii) карбонитрид кремния, (ix) карбид кремния или (x) SiCOH.5. Устройство по п.1, в котором вторая электрическая линия по меньшей мере частично окружает указанный постоянный магнит.6. Устройство по п.1, в котором вторая подложка соединена с первой подложкой консольным образом.7. Устройство по п.6, в котором первая и вторая подложки, по существу, перекрывают друг друга, при этом указанное консольное соединение расположено вблизи первого края первой подложки и второго края второй подложки.8. Устройство по п.7, в котором постоянный магнит более удален от первого края и второго края, чем консольное соединение.9. Устройство по п.7, в котором первая подло